
【計】 isoplanar isolation
class; grade; rank; wait; when
【機】 iso-
flat; plane; surface
【醫】 flat; plane; planum
insulate; quarantine; close off; keep apart; segregate; insulation
【計】 buffering; shielding
【醫】 detention; isolate; isolation; segregation; sequester; sequestration
在漢英詞典視角下,“等平面隔離”是一個專業術語,主要應用于半導體制造領域。其核心含義和英譯如下:
“等平面隔離” (Děng Píngmiàn Gélí)
指在集成電路制造中,通過特定工藝(如局部氧化)在矽晶圓表面形成平坦化絕緣區域的技術。該技術使相鄰元件(如晶體管)之間形成電學隔離層,同時保持晶圓表面的整體平坦度,有利于後續光刻和金屬布線工藝。其标準英文對應術語為:
Isoplanar Isolation
技術原理補充說明:
等平面隔離技術通過選擇性氧化矽襯底特定區域,在元件間生成二氧化矽(SiO₂)絕緣層。與傳統隔離工藝相比,其關鍵優勢在于隔離結構與晶圓表面處于同一水平面(即“等平面”),避免了表面凹凸問題,提升器件集成密度與可靠性。
權威定義參考來源:
《IEEE 電子器件術語标準》(IEEE Standard Definitions of Terms for Electron Devices)
(注:具體條款可訪問 IEEE Xplore 數據庫檢索編號 STD16262)
《半導體制造技術手冊》(Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology)
美國國家半導體技術路線圖(ITRS)
語義關聯延伸:
在部分工程語境中,“等平面隔離”可能被泛化描述為:
Planarized Dielectric Isolation
(平面化介質隔離)
此表述更突出其表面平坦化特性,常見于工藝專利文獻,例如美國專利局數據庫收錄的相關專利(如專利號US 3,648,125)。
注:因術語高度專業化,建議優先查閱上述标準文獻獲取精準定義。普通漢英詞典可能僅收錄基礎譯法“Isoplanar Isolation”,技術細節需參考專業資料。
“等平面隔離”是一個計算機領域的專業術語,其英文對應為isoplanar isolation。以下是詳細解析:
等平面隔離主要用于集成電路制造,特别是在半導體工藝中。其核心目的是在芯片的同一平面層内,對相鄰元件(如晶體管)進行電氣隔離,避免短路或信號串擾。
常見應用場景包括:
技術類型 | 特點 | 適用場景 |
---|---|---|
等平面隔離 | 同一平面内隔離,工藝簡單 | 中小規模集成電路 |
深槽隔離(STI) | 垂直深槽填充絕緣材料,隔離性強 | 高密度、高性能芯片 |
由于搜索結果僅提供基礎翻譯且權威性較低,建議結合專業文獻(如《半導體器件物理》或IEEE論文)進一步确認技術細節。若需深入探讨應用案例,可參考集成電路制造相關的權威資料。
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