
【计】 isoplanar isolation
class; grade; rank; wait; when
【机】 iso-
flat; plane; surface
【医】 flat; plane; planum
insulate; quarantine; close off; keep apart; segregate; insulation
【计】 buffering; shielding
【医】 detention; isolate; isolation; segregation; sequester; sequestration
在汉英词典视角下,“等平面隔离”是一个专业术语,主要应用于半导体制造领域。其核心含义和英译如下:
“等平面隔离” (Děng Píngmiàn Gélí)
指在集成电路制造中,通过特定工艺(如局部氧化)在硅晶圆表面形成平坦化绝缘区域的技术。该技术使相邻元件(如晶体管)之间形成电学隔离层,同时保持晶圆表面的整体平坦度,有利于后续光刻和金属布线工艺。其标准英文对应术语为:
Isoplanar Isolation
技术原理补充说明:
等平面隔离技术通过选择性氧化硅衬底特定区域,在元件间生成二氧化硅(SiO₂)绝缘层。与传统隔离工艺相比,其关键优势在于隔离结构与晶圆表面处于同一水平面(即“等平面”),避免了表面凹凸问题,提升器件集成密度与可靠性。
权威定义参考来源:
《IEEE 电子器件术语标准》(IEEE Standard Definitions of Terms for Electron Devices)
(注:具体条款可访问 IEEE Xplore 数据库检索编号 STD16262)
《半导体制造技术手册》(Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology)
美国国家半导体技术路线图(ITRS)
语义关联延伸:
在部分工程语境中,“等平面隔离”可能被泛化描述为:
Planarized Dielectric Isolation
(平面化介质隔离)
此表述更突出其表面平坦化特性,常见于工艺专利文献,例如美国专利局数据库收录的相关专利(如专利号US 3,648,125)。
注:因术语高度专业化,建议优先查阅上述标准文献获取精准定义。普通汉英词典可能仅收录基础译法“Isoplanar Isolation”,技术细节需参考专业资料。
“等平面隔离”是一个计算机领域的专业术语,其英文对应为isoplanar isolation。以下是详细解析:
等平面隔离主要用于集成电路制造,特别是在半导体工艺中。其核心目的是在芯片的同一平面层内,对相邻元件(如晶体管)进行电气隔离,避免短路或信号串扰。
常见应用场景包括:
技术类型 | 特点 | 适用场景 |
---|---|---|
等平面隔离 | 同一平面内隔离,工艺简单 | 中小规模集成电路 |
深槽隔离(STI) | 垂直深槽填充绝缘材料,隔离性强 | 高密度、高性能芯片 |
由于搜索结果仅提供基础翻译且权威性较低,建议结合专业文献(如《半导体器件物理》或IEEE论文)进一步确认技术细节。若需深入探讨应用案例,可参考集成电路制造相关的权威资料。
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