
【化】 electron microscope microanalyser(EMMA)
電子顯微鏡微分析器(Electron Microscope Microanalyzer),簡稱EMMA或EPMA(Electron Probe Microanalyzer),是一種結合電子顯微鏡成像與微區成分分析功能的高精度科學儀器。它利用聚焦的高能電子束轟擊樣品微小區域(通常為微米至亞微米尺度),通過檢測激發出的特征X射線或陰極熒光信號,實現對樣品表面元素組成及分布的定性與定量分析。以下是其核心概念的詳細解釋:
電子顯微鏡基礎
以高能電子束代替光源,利用電磁透鏡聚焦成像,具備納米級分辨率觀察能力(如SEM、TEM)。微分析器作為其功能擴展模塊,集成于鏡體内部。
微分析原理
電子束激發樣品原子内層電子,産生特征X射線(能量或波長特定)。通過檢測這些X射線:
空間分辨率優勢
分析區域可小至1微米(常規EDS)或0.1微米(高亮度場發射源),適用于:
定量分析能力
基于ZAF(原子序數-吸收-熒光)校正模型或φ(ρz)算法,将X射線強度轉化為元素濃度,誤差可控制在1-5%内(需标樣校準)。
多維數據關聯
同步獲取形貌(SE/BSE圖像)、成分(元素面分布圖)及晶體結構(EBSD)信息,支撐材料失效分析、仿生材料研究等跨學科需求。
權威參考來源
電子顯微鏡微分析器(Electron Microscope Microanalyzer)是一種結合電子顯微鏡與微區成分分析功能的精密儀器,主要用于在微觀尺度下對樣品的結構和化學成分進行同步分析。以下從定義、功能、技術分類及應用領域進行說明:
該設備基于電子顯微鏡技術(如透射電鏡或掃描電鏡),通過檢測電子束與樣品相互作用産生的特征信號(如X射線、二次電子等),實現對微米甚至納米級區域的元素成分定性和定量分析。
分析類型 | 原理與特點 |
---|---|
能譜分析 (EDS) | 快速檢測元素(通常Z≥5),適合大面積成分掃描 |
波譜分析 (WDS) | 分辨率更高,可區分相鄰元素譜線,適合痕量元素檢測 |
電子能量損失譜 (EELS) | 通過電子能量損失分析輕元素(如碳、氮),常用于TEM系統 |
相比傳統單獨使用顯微鏡或光譜儀,微分析器實現了“觀察-分析”一體化,空間分辨率可達納米級别,檢測限低至0.1wt%,大幅提升微觀研究的綜合效率。
提示:如需具體設備型號或操作原理擴展,可參考電子顯微鏡廠商(如JEOL、Thermo Fisher)的技術文檔。
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