
【醫】 silicon-carbide disk
silicon
【醫】 Si; silicium; silicon
carbon
【化】 carbon
【醫】 C; carbon; carboneum
millstones
【化】 grinding block
【醫】 abrasive disk; cutting disk
矽碳磨盤(Silicon Carbide Grinding Disc)是一種由碳化矽(SiC)材料制成的磨削工具,廣泛應用于工業制造和精密加工領域。其名稱由三部分構成:
該工具的核心特性包括:
主要應用場景涵蓋航空航天領域的钛合金加工、光伏産業的矽錠切割,以及汽車制造中的刹車片修整。國際标準化組織ISO 6106對其粒度檢測方法有明确規範。
“矽碳磨盤”是半導體行業中用于矽片加工的關鍵工藝裝備,主要涉及材料特性和工業應用。以下是詳細解釋:
材料組成
矽碳磨盤通常指采用碳化矽(SiC)陶瓷制成的研磨盤。碳化矽是一種高性能陶瓷材料,化學式為 $text{SiC}$,具有高硬度、耐高溫和耐磨性。
核心特性
應用領域
主要用于超大規模集成電路矽片生産,尤其是大尺寸矽片的精密研磨和抛光。其高精度特性可保障矽片的平面度和平行度。
技術優勢
碳化矽磨盤支持高速加工,提升矽片的生産效率,同時減少因磨損導緻的精度損失,滿足現代半導體行業對高質量矽片的需求。
總結來看,矽碳磨盤通過材料創新解決了傳統金屬磨盤的性能局限,是半導體制造中提升加工精度和效率的重要技術裝備。
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