
【化】 titanium silicide
【醫】 silicification
titanium
【化】 titanic
【醫】 Ti; titanium
矽化钛(Titanium Silicide)是一種由钛(Ti)和矽(Si)組成的金屬間化合物,化學式為TiSi₂。它是半導體工業和材料科學領域的重要功能材料,具有低電阻率、高熱穩定性及優異的抗電遷移特性。
矽化钛晶體結構為C54斜方晶系,密度約為4.04 g/cm³,熔點約1500°C。其電阻率在13-20 μΩ·cm範圍内,顯著低于多晶矽,因此在微電子器件中可降低信號傳輸損耗。
工業上主要通過钛薄膜與矽基闆在600-800°C下的固态反應制備,需精确控制退火條件以避免相變缺陷(《應用物理快報》實驗數據)。
矽化钛是钛與矽形成的金屬間化合物,具有多種化學組成形式,常見的有二矽化钛(TiSi₂)和三矽化五钛(Ti₅Si₃)。以下是其關鍵信息:
二矽化钛(TiSi₂)
三矽化五钛(Ti₅Si₃)
不同組成的矽化钛因結構差異,性質和應用場景有所不同。如需完整信息,可參考化學數據庫或權威文獻。
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