
【化】 titanium silicide
【医】 silicification
titanium
【化】 titanic
【医】 Ti; titanium
硅化钛(Titanium Silicide)是一种由钛(Ti)和硅(Si)组成的金属间化合物,化学式为TiSi₂。它是半导体工业和材料科学领域的重要功能材料,具有低电阻率、高热稳定性及优异的抗电迁移特性。
硅化钛晶体结构为C54斜方晶系,密度约为4.04 g/cm³,熔点约1500°C。其电阻率在13-20 μΩ·cm范围内,显著低于多晶硅,因此在微电子器件中可降低信号传输损耗。
工业上主要通过钛薄膜与硅基板在600-800°C下的固态反应制备,需精确控制退火条件以避免相变缺陷(《应用物理快报》实验数据)。
硅化钛是钛与硅形成的金属间化合物,具有多种化学组成形式,常见的有二硅化钛(TiSi₂)和三硅化五钛(Ti₅Si₃)。以下是其关键信息:
二硅化钛(TiSi₂)
三硅化五钛(Ti₅Si₃)
不同组成的硅化钛因结构差异,性质和应用场景有所不同。如需完整信息,可参考化学数据库或权威文献。
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