
【電】 grid current
bar
electric current; electrical current; electricity
【計】 I
【化】 current; electric current; electric current (strength)
【醫】 current; electric current; rheo-
栅電流(Gate Current)是半導體器件領域的重要概念,特指在場效應晶體管(FET)或金屬-氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)中,流經栅極絕緣層的微小電流。該電流由栅極與溝道之間的電勢差驅動,主要包含以下物理機制:
量子隧穿效應
當栅極電壓較高時,電子可能通過量子力學隧穿效應穿透栅極氧化物層,形成隧穿電流。這一現象在納米級器件中尤為顯著,與氧化層厚度成指數關系(參考:S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices)。
熱載流子注入
高電場條件下,溝道載流子獲得足夠動能越過勢壘進入栅介質,此類電流隨溫度升高而增強。該機制直接影響器件可靠性,可能引發阈值電壓漂移(參考:Y. Taur, Fundamentals of Modern VLSI Devices)。
漏電流成分
包括栅極與源/漏擴散區之間的邊緣漏電流,以及栅介質中的缺陷輔助隧穿電流。現代CMOS工藝中,栅電流密度可低至$10^{-7} text{A/cm}$量級(參考:IEEE Electron Device Letters, vol. 45, 2023)。
栅電流的定量分析通常采用Fowler-Nordheim隧穿方程:
$$ J = AE{text{ox}} expleft(-frac{B}{E{text{ox}}}right) $$
其中$E_{text{ox}}$為氧化物電場強度,$A$、$B$為材料相關常數。該參數對集成電路的靜态功耗和栅極氧化層可靠性具有決定性影響,在器件建模時需通過Sentaurus TCAD等專業工具精确表征。
栅電流是半導體器件中的關鍵概念,主要涉及場效應管(如MOSFET)、晶體管等元件的工作特性。以下是綜合多個權威來源的詳細解釋:
栅電流指在半導體器件中通過栅極(Gate)的電流。栅極作為控制電極,通過施加電壓調節源極與漏極之間的導電通道,而栅電流則反映了栅極本身的電荷流動。
栅電流既是半導體器件工作的核心參數,也是技術瓶頸之一。現代研究緻力于平衡其控制能力與洩漏問題,以提升器件可靠性和能效。如需進一步了解具體器件(如MOSFET)的栅電流模型,可參考相關學術文獻或專業教材。
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