micromachining是什麼意思，micromachining的意思翻譯、用法、同義詞、例句

micromachining英标

英:/',maɪkrəʊmə'ʃiːnɪŋ/ 美:/''maɪkoməʃinɪŋ/

n. 顯微機械加工，微加工

Versatile micromachining methods can be used for membrane fabrication.

通用的微機械加工方法可以用于膜制造。

Wire electrochemical micromachining(WEMM) is a recent new method for micro-machining.

微細電化學線切割加工是最近出現的一種微細加工新方法。

Mechanism, characteristic and application of excimer laser micromachining are introduced.

介紹了準分子激光微加工的機理、特點和應用。

An integrated thin film microbiosensor was developed based on a micromachining techniques.

将微機械加工技術應用于傳感器研究，制備一體化薄膜生物傳感器。

In comparison, only five or six layers are possible using standard micromachining processes.

相比之下，隻有五，六層是可能使用标準的微加工工藝。

laser micromachining

激光微型工

微加工（micromachining）是采用精密技術手段在材料表面或内部構造微米至亞微米級結構的制造工藝。該技術通過物理或化學方法移除材料，主要應用于微機電系統（MEMS）、光學器件和生物醫學器械等領域。

技術分類：

體微加工：通過濕法或幹法刻蝕在矽基底内部形成三維結構，典型應用包括壓力傳感器腔體制造（參考：Springer Handbook of Nanotechnology）
表面微加工：采用薄膜沉積與圖形化工藝逐層構建微結構，美國國家标準與技術研究院（NIST）的研究顯示，該技術可實現多層可動部件的集成

核心工藝：

工業應用：

micromachining 的詳細解釋：

基本定義
micromachining 指在微米（μm）至毫米（mm）尺度範圍内進行精密加工的技術，精度可達亞微米級。其核心是通過特定工藝制造微型機械結構或器件，常用于微機電系統（MEMS）、傳感器等領域。
技術分類
- 表面微加工（Surface Micromachining）
  利用光刻、薄膜沉積、蝕刻等半導體工藝，在材料表面（如矽晶圓）制作淺層微結構，厚度通常小于5微米。
- 體微加工（Bulk Micromachining）
  通過深度蝕刻或機械加工，直接在材料内部或整體結構上形成三維微元件，可承受較大機械力。
術語解析
- 英文中“machine”在此為動詞，強調“加工”動作而非名詞“機械”，因此更準确的中文翻譯應為“微加工”而非“微機械”。
- 同義詞包括顯微機械加工、微量切削加工等。
應用領域
主要用于制造微型傳感器、執行器、光學器件等，具有高集成度、低能耗的特點，與集成電路工藝兼容性強。

該術語強調精密加工技術，需結合具體工藝（如表面或體加工）理解其實現方式，在微納制造領域應用廣泛。