micromachining是什么意思，micromachining的意思翻译、用法、同义词、例句

micromachining英标

英:/',maɪkrəʊmə'ʃiːnɪŋ/ 美:/''maɪkoməʃinɪŋ/

n. 显微机械加工，微加工

Versatile micromachining methods can be used for membrane fabrication.

通用的微机械加工方法可以用于膜制造。

Wire electrochemical micromachining(WEMM) is a recent new method for micro-machining.

微细电化学线切割加工是最近出现的一种微细加工新方法。

Mechanism, characteristic and application of excimer laser micromachining are introduced.

介绍了准分子激光微加工的机理、特点和应用。

An integrated thin film microbiosensor was developed based on a micromachining techniques.

将微机械加工技术应用于传感器研究，制备一体化薄膜生物传感器。

In comparison, only five or six layers are possible using standard micromachining processes.

相比之下，只有五，六层是可能使用标准的微加工工艺。

laser micromachining

激光微型工

微加工（micromachining）是采用精密技术手段在材料表面或内部构造微米至亚微米级结构的制造工艺。该技术通过物理或化学方法移除材料，主要应用于微机电系统（MEMS）、光学器件和生物医学器械等领域。

技术分类：

体微加工：通过湿法或干法刻蚀在硅基底内部形成三维结构，典型应用包括压力传感器腔体制造（参考：Springer Handbook of Nanotechnology）
表面微加工：采用薄膜沉积与图形化工艺逐层构建微结构，美国国家标准与技术研究院（NIST）的研究显示，该技术可实现多层可动部件的集成

核心工艺：

工业应用：

micromachining 的详细解释：

基本定义
micromachining 指在微米（μm）至毫米（mm）尺度范围内进行精密加工的技术，精度可达亚微米级。其核心是通过特定工艺制造微型机械结构或器件，常用于微机电系统（MEMS）、传感器等领域。
技术分类
- 表面微加工（Surface Micromachining）
  利用光刻、薄膜沉积、蚀刻等半导体工艺，在材料表面（如硅晶圆）制作浅层微结构，厚度通常小于5微米。
- 体微加工（Bulk Micromachining）
  通过深度蚀刻或机械加工，直接在材料内部或整体结构上形成三维微元件，可承受较大机械力。
术语解析
- 英文中“machine”在此为动词，强调“加工”动作而非名词“机械”，因此更准确的中文翻译应为“微加工”而非“微机械”。
- 同义词包括显微机械加工、微量切削加工等。
应用领域
主要用于制造微型传感器、执行器、光学器件等，具有高集成度、低能耗的特点，与集成电路工艺兼容性强。

该术语强调精密加工技术，需结合具体工艺（如表面或体加工）理解其实现方式，在微纳制造领域应用广泛。

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