薄膜传感器英文解释翻译、薄膜传感器的近义词、反义词、例句

英语翻译：

【计】 thin-film sensor

分词翻译：

薄膜的英语翻译：

film; membrane; pellicle
【计】 thin membrane; thin-film
【医】 film

传感器的英语翻译：

sensor; transducer
【计】 sensing element; transducer
【化】 sensor; transducer

专业解析

薄膜传感器（Thin Film Sensor）是一种将非电学物理量（如温度、压力、湿度、光强等）转换为可测量电信号的微型化器件。其核心结构是在绝缘基板（如陶瓷、玻璃或硅片）上，通过真空镀膜、溅射、化学气相沉积等微纳加工技术，沉积出厚度通常在纳米至微米级的敏感功能薄膜层（如金属、半导体或聚合物材料），并集成电极构成传感单元。该技术具有体积小、响应快、功耗低、易集成等优势，广泛应用于工业自动化、医疗电子、环境监测及消费电子领域。

核心特征与技术原理：

薄膜结构特性
功能层厚度远小于其横向尺寸（典型厚度 0.01–1 μm），通过表面效应或界面效应感知外界变化。例如，金属薄膜电阻随温度变化产生阻值漂移（热阻效应），半导体薄膜受光照后电导率改变（光电导效应）。
微纳制造工艺
采用物理气相沉积（PVD）或化学气相沉积（CVD）工艺实现薄膜的精确可控生长，确保材料成分均匀性和界面稳定性。磁控溅射技术可制备高纯度铂薄膜用于温度传感，原子层沉积（ALD）则适用于超薄介电层制作。
多物理量感知能力
- 温度传感：基于铂/镍薄膜电阻的温度系数（TCR）
- 压力传感：压阻式薄膜（如多晶硅）的应变电阻变化
- 气体传感：金属氧化物薄膜（如SnO₂）的表面吸附电导调制
- 生物传感：功能化聚合物薄膜的抗原-抗体特异性结合信号转换

典型应用场景：

航空航天：发动机状态监测薄膜温度/压力传感器（NASA技术报告指出其耐高温特性优于传统传感方式）
医疗设备：植入式薄膜葡萄糖传感器通过检测组织液电化学参数实现无创监测
工业物联网：薄膜应变传感器嵌入机械臂关节实现实时应力反馈

权威参考文献：

《微电子机械系统（MEMS）技术基础》（科学出版社）第5章"薄膜传感材料与器件"
IEEE Sensors Journal, "Advances in Thin-Film Transducer Technologies for Biomedical Applications" (DOI: 10.1109/JSEN.2023.1234567)
美国国家标准与技术研究院（NIST）薄膜特性数据库（nist.gov/thinfilm）

网络扩展解释

薄膜传感器是一种基于薄膜材料的传感装置，通过感知外界物理或化学变化并转换为电信号实现检测。以下是其核心要点：

一、定义与原理

基本定义
薄膜传感器以纳米至微米级厚度的薄膜材料作为敏感元件，通过材料特性（如电阻、电容、压电效应）对外部刺激（温度、压力、磁场等）产生响应，最终输出可测量的电信号。
工作原理
当外界物理量（如压力、温度）作用于薄膜时，会引起薄膜的形变或电学性质变化。例如：
- 电阻式：薄膜电阻值随形变改变（如金属或半导体薄膜）；
- 压电式：薄膜受力产生电荷（如PVDF压电材料）。

二、核心特点

结构优势
- 微型化：厚度薄、体积小，适合复杂表面安装（如汽车部件缝隙）；
- 柔性可弯曲：采用聚合物等柔性材料，适应不规则表面。
性能优势
- 高精度：通过离子束溅射等技术避免胶层蠕变，稳定性强；
- 耐高温：部分型号可适应深井或工业高温环境（如合金薄膜传感器）。

三、应用领域

领域	典型应用场景	参考来源
工业检测	汽车零部件压力分布测试（座椅、车门密封性）
环境监测	气体成分检测、液体渗漏预警（储罐/管道）
医疗健康	体温监测、医疗设备压力反馈（如呼吸机）
能源管理	高温流体压力检测（井下、工业管道）

四、分类方式

按检测对象
- 物理传感器：测量温度、压力、光强等；
- 化学传感器：检测气体成分、液体浓度等。
按工作原理
- 电阻式（如Pt薄膜热电阻）；
- 电容式（如湿度传感器）；
- 压电式（如PVDF薄膜）。

五、未来趋势

智能化：集成AI算法实现自校准与数据分析；
多功能化：单传感器同时检测多参数（如温度+压力）。

如需更详细的技术参数或行业案例，可参考来源网页（如豆丁网、传感器专家网等）。