电子束记录器英文解释翻译、电子束记录器的近义词、反义词、例句
英语翻译:
【电】 electron-beam recorder
相关词条:
1.EBR
分词翻译:
电子束记录的英语翻译:
【计】 electron beam recording
器的英语翻译:
implement; organ; utensil; ware
【医】 apparatus; appliance; crgan; device; organa; organon; organum; vessel
专业解析
电子束记录器(Electron Beam Recorder,简称 EBR)是一种利用聚焦的电子束在特定介质(通常是感光胶片或特殊涂层)上直接记录信息的精密设备。其核心原理是通过精确控制高速电子的偏转和强度变化,将电信号(如视频信号、数字数据)转化为介质上的物理图案(如潜影、蚀刻)。
以下是其详细解释:
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术语构成与基本含义 (Terminology & Core Concept)
- 电子束 (Electron Beam): 指从电子枪发射出的、经过电场或磁场聚焦和加速的高速电子流。它具有极高的能量密度和精确可控性。
- 记录器 (Recorder): 指一种将输入信号(电信号、数据)永久或半永久性地存储(记录)到某种物理介质上的装置。
- 组合含义: 电子束记录器即利用高度聚焦和可控的电子束作为“书写工具”,在特定敏感介质表面扫描并改变其物理或化学状态(如曝光、烧蚀、聚合),从而实现高分辨率、高速度信息记录的设备。
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核心工作原理 (Core Working Principle)
- 电子束记录器工作时,输入的信号(模拟或数字)经过处理后,用于调制电子束的强度(强度调制)和/或控制电子束在 X 和 Y 方向的偏转位置(位置调制)。
- 被调制的电子束在真空环境中扫描过涂有感光乳剂(如卤化银)或特殊敏感材料(如电敏聚合物、金属薄膜)的介质(通常是胶片或圆盘)。
- 电子束携带的能量作用于介质表面:
- 对于感光胶片:电子束使卤化银颗粒感光,形成潜影,经后续化学处理(显影、定影)后成为可见图像或数据图案。
- 对于其他介质:电子束可能直接引起材料蒸发(烧蚀)、聚合或结构改变,形成物理凹坑或凸起。
- 通过精确控制电子束的开关、强度变化和扫描轨迹,可以在介质上“写入”极其精细的点、线或图案,记录下原始信号的信息。
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关键特性与优势 (Key Characteristics & Advantages)
- 超高分辨率 (Ultra-High Resolution): 电子束波长极短(远小于光波),聚焦光斑直径可达亚微米甚至纳米级别,使其能够记录极其精细的细节,远超传统光学记录方法。这是其最核心的优势。
- 高记录速度 (High Writing Speed): 电子束扫描速度极快,能够实现高速数据记录。
- 非接触式记录 (Non-contact Recording): 记录过程在真空中进行,电子束不接触介质表面,避免了机械磨损。
- 精确可控性 (Precise Control): 电子束的强度、位置、聚焦和扫描均可通过电磁场精确、灵活地控制。
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主要应用领域 (Primary Applications)
- 高分辨率胶片记录 (High-Resolution Film Recording): 历史上是其主要应用,用于将卫星遥感图像、雷达数据、计算机图形等高分辨率信息记录到胶片上,制作母版或存档。例如,用于制作早期卫星照片或地图的母片。
- 半导体光刻掩模版制作 (Photomask Fabrication for Semiconductor Lithography): 电子束光刻(EBL)是制造最先进集成电路(IC)所用光刻掩模版的关键技术。EBR 是 EBL 的一种具体应用形式,直接在涂有感光抗蚀剂(光刻胶)的掩模基板(如石英)上“写入”电路图案。
- 微纳加工与直接写入 (Micro/Nanofabrication & Direct Writing): 在科研和小批量生产中,用于在基板上直接制造微纳结构(如 MEMS 器件、光子晶体、纳米电极等)。
- 数据存储 (Data Storage - Historical/Niche): 曾探索用于高密度数据存储(如早期的电子束寻址存储器),但主流存储技术已被其他方式取代。
总结 (Summary):
电子束记录器(Electron Beam Recorder)是一种利用精密控制的聚焦电子束作为记录工具,在真空环境中将电信号直接转化为高分辨率物理图案(如胶片潜影或基板表面结构)的装置。其核心价值在于能够实现远超光学方法的超高分辨率记录,主要应用于需要极高精度的领域,如半导体光刻掩模制造和特定历史时期的高分辨率胶片记录(如卫星遥感数据存档)。其工作原理依赖于电子束的强度调制和精确偏转扫描作用于特殊敏感介质。
关于引用与的说明:
由于未能通过当前搜索找到可直接引用且完全匹配“电子束记录器”详细词典解释的权威在线资源(如专业词典出版社页面、IEEE标准定义页面、顶尖大学实验室技术说明页面),以上解释基于电子光学、记录技术、半导体制造领域的公认原理和术语定义进行综合阐述。其核心概念(电子束、记录原理、分辨率优势、主要应用)在相关工程和物理文献中有广泛共识。建议查阅以下类型的权威资源进行更深入验证:
- 专业电子工程词典(如IEEE标准术语库)。
- 半导体光刻技术专著(如Chris Mack著《Fundamental Principles of Optical Lithography》中关于电子束光刻的章节)。
- 真空电子学或电子显微镜技术相关教科书(涉及电子束产生、聚焦、扫描原理)。
网络扩展解释
电子束记录器是一种利用电子束技术进行高精度信息记录的设备,其核心功能涉及电子束的生成、控制及位置检测。以下从定义、组成和应用三个方面进行详细解释:
一、定义与基本原理
电子束记录器通过电子光学系统将电子束聚焦并照射在信息记录介质(如主盘)上,实现微米或纳米级精度的信息刻录。其原理基于电子束的高能量密度和可控性,通过高压电场加速电子形成高速束流(速度可达0.3-0.7倍光速)。
二、核心组成
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电子光学系统
包括电子枪、电磁透镜等部件,负责产生、加速和聚焦电子束。电子枪中的阴极发射电子,经阴阳极间高压电场(25-300kV)加速后形成高能电子束流。
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电子束照射位置检测单元
实时监测电子束在介质上的照射位置,确保刻录精度。该单元通常通过反馈机制调整电子束路径,减少偏差。
三、应用领域
- 主盘制造:用于光盘、半导体掩模等精密介质的生产,通过电子束刻蚀形成微结构。
- 科研与工业检测:结合电子显微镜技术,实现材料表面分析或微加工。
补充说明
电子束的特性(如高分辨率、非接触式加工)使其在微电子和光存储领域具有不可替代性。不过,设备需在真空环境中运行以避免电子散射。
如需进一步了解技术参数或具体案例,可参考权威工程文献或专业设备手册。
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