
【电】 planar devices
flat; plane; surface
【医】 flat; plane; planum
equipment; facility; fixing; fixture; installation
【计】 device; implementor
【化】 equipment
【医】 equipment; unit
【经】 equipment; facility; installation
在电子工程领域,"平面设备"(planar device)指采用平面工艺制造的半导体器件。该术语源自1960年代贝尔实验室开发的平面工艺技术,主要特征是通过光刻和氧化工艺在硅片表面形成二维平面结构。
核心要素包括:
技术文献中常与"planar technology"互用,特指通过表面沉积和刻蚀形成器件结构的制造方法。美国物理联合会《应用物理评论》期刊的多篇论文证实,这种方法在器件一致性和量产稳定性方面具有不可替代的优势。
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电子设备领域
可能指代具有平面屏幕或扁平化设计的设备,例如:
机械/工程领域
可能指用于加工或测量平面的工具或设备,例如:
数学/几何概念
若为专业术语,可能指“平面几何中的辅助工具”,如:
其他可能
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