
[电子] 半导体薄片
Content and methods of shop-floor control in semiconductor wafer fabricati…
本文介绍了半导体晶圆制造车间层控制的内容及方法。
It takes around 13 cubic metres of freshwater to produce a single 200mm semiconductor wafer, for example.
例如,制造出一块2分米长的半导体晶片需消耗13立方米的水。
We present an on-wafer measurement technique of semiconductor wafer using special coplanar microwave probes.
本文描述了使用共面微波探针的半导体芯片在片测试技术。
Both types of chip are manufactured in batches on a single semiconductor wafer that is cut into individual chips.
这两种芯片都是先在一张半导体薄片上成批生产,然后再切割成一个个芯片的。
Semiconductor device, semiconductor wafer, chip size package, and methods of manufacturing and inspection therefor.
半导体器件,半导体晶片,芯片尺寸封装及制作和检测方法。
半导体晶圆(Semiconductor Wafer)是集成电路制造的核心基础材料,其本质是经过精密加工的超薄圆盘状半导体基片。以下是详细解释:
指导电性介于导体(如铜)和绝缘体(如陶瓷)之间的材料,常见的有硅(Si)、砷化镓(GaAs)等。其特性在于可通过掺杂或电场控制电流,是制造晶体管、二极管等电子元件的关键材料。硅因储量丰富、稳定性高成为主流选择,占全球晶圆的95%以上。
是将高纯度半导体材料(如单晶硅锭)切割成的圆盘,表面经抛光至纳米级平整度。标准直径有150mm(6英寸)、200mm(8英寸)和300mm(12英寸),更大尺寸可提升芯片产量并降低成本。晶圆厚度通常为0.5-0.75mm,边缘有“定位边”或“凹槽”标识晶体取向。
从石英砂提纯→制成单晶硅锭→切割成晶圆→抛光→外延生长(如SiGe层)→氧化→光刻→离子注入→金属互联,最终经测试切割为独立芯片。
权威参考来源:
“Semiconductor wafer”(半导体晶圆)是电子制造中的核心材料,其含义可从以下方面综合解释:
半导体晶圆是用于制造集成电路(IC)的圆形硅片,直径通常为200毫米或300毫米。其表面通过光刻、蚀刻等工艺形成复杂电路结构,最终切割成单个芯片。
晶圆制造需超净环境,工艺包含沉积、掺杂、切割等步骤。单个晶圆可产出数百至数千芯片,成本与良率直接影响半导体产业效益。
如需进一步了解具体工艺或物理特性,可参考半导体制造专业文献或行业标准文件。
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