susceptor是什麼意思，susceptor的意思翻譯、用法、同義詞、例句
常用詞典
n. 感受器；承受器；基座；襯托器
例句
A flexible substrates is mounted on the cylindrical susceptor.
撓性襯底安裝在圓柱形襯托器上。
The susceptor rested on a pedestal whose shaft is connected to a motor that provides rotation.
器 安裝在軸承台上，它的支架與提供旋轉的馬達相接。
In the other embodiment, the susceptor cross section is a polygon with a plurality of substrates mounted on its facets.
在另一個實施方式中，襯托器截面是多邊形，且多個襯底安裝在襯托器的面上。
Using finite analytic solution we gave the numerical computation of the flow field in CVD reactor with tilted susceptor.
本文用有限分析方法，對帶有傾斜基座的CVD反應器内流場進行了數值計算。
In one embodiment, the process reactor has four composite injectors arranged substantially parallel to the axis of rotation of the cylindrical susceptor.
在一個實施方式中，處理反應器具有基本上平行于圓柱形襯托器的旋轉軸設置的四個複合注入器。
同義詞
n.|ceptor/foundation bed;感受器；承受器；基座；襯托器
專業解析
Susceptor 是一個專業術語，主要用于半導體制造、材料科學和薄膜沉積技術領域。其核心含義是指一種在高溫工藝（如化學氣相沉積CVD、外延生長）中，用于承載、支撐并有效加熱被加工基片（如矽晶圓）的部件或基座。
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核心功能與作用：
- 支撐與承載： Susceptor 的主要作用是提供一個穩固的平台來放置和固定需要加工的基片（例如矽片、藍寶石襯底等），确保其在工藝過程中位置精确且穩定。
- 高效加熱： 這是 Susceptor 最關鍵的功能之一。它通常由能夠高效吸收輻射熱或感應電流的材料制成（如高純度石墨、碳化矽塗層石墨、或某些金屬）。在反應腔室内，Susceptor 自身被加熱（通過電阻加熱、射頻感應加熱或紅外輻射加熱等方式），然後通過熱傳導和/或輻射将熱量高效、均勻地傳遞給放置在其上的基片。這使得基片能夠快速達到并維持在工藝所需的高溫（通常在數百到一千多攝氏度）。
- 溫度均勻性： 高質量的 Susceptor 設計旨在确保其表面溫度分布盡可能均勻，從而保證放置其上的基片在整個表面區域經曆一緻的熱處理條件，這對于沉積薄膜的均勻性和材料性能至關重要。
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關鍵材料特性：
- 高導熱性： 确保熱量能夠快速、有效地從熱源傳遞到基片。
- 高耐熱性/高溫穩定性： 必須能承受工藝過程中的極端高溫而不變形、不分解或釋放雜質。
- 化學惰性： 在高溫和反應氣體環境下保持穩定，不與工藝氣體或沉積材料發生反應，避免污染基片或沉積膜層。
- 低熱膨脹系數： 減少因溫度劇烈變化引起的尺寸變化，保持幾何穩定性。
- 高純度： 尤其是在半導體應用中，極低的雜質含量至關重要，以防止雜質擴散污染敏感的半導體器件。高純度石墨因其優異的綜合性能（良好的導熱性、高溫穩定性、可加工性、相對較低的成本）而成為最常用的 Susceptor 材料。碳化矽塗層常用于保護石墨 Susceptor 免受某些反應氣體的侵蝕并進一步提高其使用壽命和純度。
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主要應用場景：
- 化學氣相沉積： 在 CVD（包括 APCVD, LPCVD, MOCVD）設備中，Susceptor 是核心部件，用于加熱襯底以促進氣相前驅體在襯底表面的化學反應和薄膜沉積。例如，在 MOCVD 中生長 GaN LED 外延層。
- 外延生長： 在矽、碳化矽或化合物半導體外延生長中，Susceptor 提供精确控制的溫度環境。
- 熱處理： 用于需要高溫處理的工藝，如退火、擴散、氧化等。
- 感應加熱系統： 在利用電磁感應原理加熱的系統中，Susceptor 作為被感應的“次級線圈”，将電磁能轉化為熱能。
總結來說，Susceptor 是一個在高溫材料加工（特别是薄膜沉積）中不可或缺的工程部件，它集成了承載基片和高效、均勻加熱基片的功能，其材料選擇和設計對工藝的成敗和産品質量有着決定性影響。
參考來源：
- ScienceDirect (Materials Science Topics) - 提供 Susceptor 在 CVD 和材料科學中的基本定義和作用。
- Semiconductor Engineering - 讨論半導體制造設備（如 CVD）中的關鍵組件，包括 Susceptor。
- MKS Instruments (Application Notes) - 詳細介紹 CVD 技術原理及腔室組件，闡述 Susceptor 的功能和重要性。
- Inductotherm Group - 解釋感應加熱原理及應用，說明 Susceptor 在感應加熱系統中的作用。
網絡擴展資料
根據權威詞典和工程領域的解釋，單詞susceptor 的含義如下：
核心定義
Susceptor 指一種能夠吸收電磁能并将其轉化為熱能的材料或裝置，常見于半導體制造、微波加熱等技術領域。其功能類似于“基座”或“能量轉換器”。
具體應用場景
- 半導體工藝
在化學氣相沉積（CVD）等工藝中，susceptor 作為基座支撐晶圓，并通過電磁感應加熱，确保材料均勻沉積。
- 微波加熱技術
用于食品包裝或工業加熱設備中，通過吸收微波産生熱量，提升加熱效率（例如微波爆米花包裝内層的金屬薄膜）。
其他釋義
- 機械結構：在部分文獻中可能指支撐或固定部件的“基座”，如例句中提到的感應器支架。
- 生物學誤譯：中文“感受器”一般對應receptor，而 susceptor 在生物學中極少使用，可能是翻譯混淆。
詞源與發音
- 發音：英 [sə'septə]，美 [sə'septə]
- 詞根：源自拉丁語 suscipere（接收），強調其“吸收能量”的特性。
如需進一步了解技術細節，可參考新東方詞典或工程領域的專業文獻。
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