susceptor是什么意思，susceptor的意思翻译、用法、同义词、例句
常用词典
n. 感受器；承受器；基座；衬托器
例句
A flexible substrates is mounted on the cylindrical susceptor.
挠性衬底安装在圆柱形衬托器上。
The susceptor rested on a pedestal whose shaft is connected to a motor that provides rotation.
器 安装在轴承台上，它的支架与提供旋转的马达相接。
In the other embodiment, the susceptor cross section is a polygon with a plurality of substrates mounted on its facets.
在另一个实施方式中，衬托器截面是多边形，且多个衬底安装在衬托器的面上。
Using finite analytic solution we gave the numerical computation of the flow field in CVD reactor with tilted susceptor.
本文用有限分析方法，对带有倾斜基座的CVD反应器内流场进行了数值计算。
In one embodiment, the process reactor has four composite injectors arranged substantially parallel to the axis of rotation of the cylindrical susceptor.
在一个实施方式中，处理反应器具有基本上平行于圆柱形衬托器的旋转轴设置的四个复合注入器。
同义词
n.|ceptor/foundation bed;感受器；承受器；基座；衬托器
专业解析
Susceptor 是一个专业术语，主要用于半导体制造、材料科学和薄膜沉积技术领域。其核心含义是指一种在高温工艺（如化学气相沉积CVD、外延生长）中，用于承载、支撑并有效加热被加工基片（如硅晶圆）的部件或基座。
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核心功能与作用：
- 支撑与承载： Susceptor 的主要作用是提供一个稳固的平台来放置和固定需要加工的基片（例如硅片、蓝宝石衬底等），确保其在工艺过程中位置精确且稳定。
- 高效加热： 这是 Susceptor 最关键的功能之一。它通常由能够高效吸收辐射热或感应电流的材料制成（如高纯度石墨、碳化硅涂层石墨、或某些金属）。在反应腔室内，Susceptor 自身被加热（通过电阻加热、射频感应加热或红外辐射加热等方式），然后通过热传导和/或辐射将热量高效、均匀地传递给放置在其上的基片。这使得基片能够快速达到并维持在工艺所需的高温（通常在数百到一千多摄氏度）。
- 温度均匀性： 高质量的 Susceptor 设计旨在确保其表面温度分布尽可能均匀，从而保证放置其上的基片在整个表面区域经历一致的热处理条件，这对于沉积薄膜的均匀性和材料性能至关重要。
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关键材料特性：
- 高导热性： 确保热量能够快速、有效地从热源传递到基片。
- 高耐热性/高温稳定性： 必须能承受工艺过程中的极端高温而不变形、不分解或释放杂质。
- 化学惰性： 在高温和反应气体环境下保持稳定，不与工艺气体或沉积材料发生反应，避免污染基片或沉积膜层。
- 低热膨胀系数： 减少因温度剧烈变化引起的尺寸变化，保持几何稳定性。
- 高纯度： 尤其是在半导体应用中，极低的杂质含量至关重要，以防止杂质扩散污染敏感的半导体器件。高纯度石墨因其优异的综合性能（良好的导热性、高温稳定性、可加工性、相对较低的成本）而成为最常用的 Susceptor 材料。碳化硅涂层常用于保护石墨 Susceptor 免受某些反应气体的侵蚀并进一步提高其使用寿命和纯度。
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主要应用场景：
- 化学气相沉积： 在 CVD（包括 APCVD, LPCVD, MOCVD）设备中，Susceptor 是核心部件，用于加热衬底以促进气相前驱体在衬底表面的化学反应和薄膜沉积。例如，在 MOCVD 中生长 GaN LED 外延层。
- 外延生长： 在硅、碳化硅或化合物半导体外延生长中，Susceptor 提供精确控制的温度环境。
- 热处理： 用于需要高温处理的工艺，如退火、扩散、氧化等。
- 感应加热系统： 在利用电磁感应原理加热的系统中，Susceptor 作为被感应的“次级线圈”，将电磁能转化为热能。
总结来说，Susceptor 是一个在高温材料加工（特别是薄膜沉积）中不可或缺的工程部件，它集成了承载基片和高效、均匀加热基片的功能，其材料选择和设计对工艺的成败和产品质量有着决定性影响。
参考来源：
- ScienceDirect (Materials Science Topics) - 提供 Susceptor 在 CVD 和材料科学中的基本定义和作用。
- Semiconductor Engineering - 讨论半导体制造设备（如 CVD）中的关键组件，包括 Susceptor。
- MKS Instruments (Application Notes) - 详细介绍 CVD 技术原理及腔室组件，阐述 Susceptor 的功能和重要性。
- Inductotherm Group - 解释感应加热原理及应用，说明 Susceptor 在感应加热系统中的作用。
网络扩展资料
根据权威词典和工程领域的解释，单词susceptor 的含义如下：
核心定义
Susceptor 指一种能够吸收电磁能并将其转化为热能的材料或装置，常见于半导体制造、微波加热等技术领域。其功能类似于“基座”或“能量转换器”。
具体应用场景
- 半导体工艺
在化学气相沉积（CVD）等工艺中，susceptor 作为基座支撑晶圆，并通过电磁感应加热，确保材料均匀沉积。
- 微波加热技术
用于食品包装或工业加热设备中，通过吸收微波产生热量，提升加热效率（例如微波爆米花包装内层的金属薄膜）。
其他释义
- 机械结构：在部分文献中可能指支撑或固定部件的“基座”，如例句中提到的感应器支架。
- 生物学误译：中文“感受器”一般对应receptor，而 susceptor 在生物学中极少使用，可能是翻译混淆。
词源与发音
- 发音：英 [sə'septə]，美 [sə'septə]
- 词根：源自拉丁语 suscipere（接收），强调其“吸收能量”的特性。
如需进一步了解技术细节，可参考新东方词典或工程领域的专业文献。
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