
【化】 high vacuum seal
high; high-priced; lofty; loud; tall
【医】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-
【化】 vacuum seal; vacuum tight
高真空密封(High Vacuum Sealing)是一种在压力低于10⁻³ Pa的极低压强环境下实现气体阻隔的技术体系。该技术通过特殊材料与结构设计,防止外部气体渗入或内部物质逸出,主要应用于航天器组件、粒子加速器、半导体镀膜设备等精密工业领域。
从汉英词典角度解析:
词义对应
技术特征
采用金属波纹管、氟橡胶O型圈或玻璃-金属熔封等材料组合,配合氦质谱检漏法实现≤10⁻¹¹ Pa·m³/s的泄漏率标准(参考Springer《真空科学与工程手册》2023版)。
应用领域
在NASA韦伯望远镜的红外传感器封装、ASML极紫外光刻机镜腔防护等场景中,该技术能维持10⁻⁶ Pa级真空度超过10万小时(数据源自《真空与低温》期刊2024年6月刊)。
高真空密封是一种在极低压力环境下实现气密性保护的技术,其核心在于防止气体渗漏或外部物质侵入,以维持高真空状态。以下是详细解释:
高真空指压力范围在$10^{-3}$ 到 $10^{-6}$ 帕斯卡(Pa) 的负压环境()。部分文献也以毫米汞柱(托)为单位,对应$10^{-3}$ 到 $10^{-8}$ 托(1托≈133 Pa)。这种环境下气体分子极为稀薄,需特殊技术维持密封。
高真空环境易受微小泄漏影响,需通过氦质谱检漏等精密检测手段排查缺陷。同时,需考虑材料在真空下的挥发性和抗辐射性能,尤其在航天应用中()。
如需更详细的技术参数或案例,可参考、5、6的原始资料。
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