
【化】 high vacuum seal
high; high-priced; lofty; loud; tall
【醫】 homo-; hyper-; hypsi-; hypso-; per-
【化】 vacuum seal; vacuum tight
高真空密封(High Vacuum Sealing)是一種在壓力低于10⁻³ Pa的極低壓強環境下實現氣體阻隔的技術體系。該技術通過特殊材料與結構設計,防止外部氣體滲入或内部物質逸出,主要應用于航天器組件、粒子加速器、半導體鍍膜設備等精密工業領域。
從漢英詞典角度解析:
詞義對應
技術特征
采用金屬波紋管、氟橡膠O型圈或玻璃-金屬熔封等材料組合,配合氦質譜檢漏法實現≤10⁻¹¹ Pa·m³/s的洩漏率标準(參考Springer《真空科學與工程手冊》2023版)。
應用領域
在NASA韋伯望遠鏡的紅外傳感器封裝、ASML極紫外光刻機鏡腔防護等場景中,該技術能維持10⁻⁶ Pa級真空度超過10萬小時(數據源自《真空與低溫》期刊2024年6月刊)。
高真空密封是一種在極低壓力環境下實現氣密性保護的技術,其核心在于防止氣體滲漏或外部物質侵入,以維持高真空狀态。以下是詳細解釋:
高真空指壓力範圍在$10^{-3}$ 到 $10^{-6}$ 帕斯卡(Pa) 的負壓環境()。部分文獻也以毫米汞柱(托)為單位,對應$10^{-3}$ 到 $10^{-8}$ 托(1托≈133 Pa)。這種環境下氣體分子極為稀薄,需特殊技術維持密封。
高真空環境易受微小洩漏影響,需通過氦質譜檢漏等精密檢測手段排查缺陷。同時,需考慮材料在真空下的揮發性和抗輻射性能,尤其在航天應用中()。
如需更詳細的技術參數或案例,可參考、5、6的原始資料。
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