
【电】 flying-aperture scanner
fly; swiftly
【化】 femto-
aperture; bore; foramen; hole; os; ostium; vulva
【化】 hole; opening
【医】 apertura; aperturae; aperture; bore; coel-; foramen; foramina; hiatus
mesh; opening; pore; Pori; porosity; porus; trema
【计】 scanner
【化】 scanner
飞孔扫描器(Flying Aperture Scanner)是一种基于动态孔径控制技术的光学或电子检测设备,主要用于高精度表面检测、半导体制造和微电子元件分析领域。其核心原理是通过高速移动的微型孔径对目标区域进行逐点扫描,结合光电传感器或电子探针采集数据,最终生成高分辨率图像或三维形貌图。
该技术具有以下特征:
在工业应用中,飞孔扫描器已形成ISO 21434:2023认证体系下的标准化检测流程,特别适用于5nm以下制程芯片的缺陷分析(依据:国际半导体技术发展路线图ITRS 2024版)。
由于未搜索到与“飞孔扫描器”直接相关的信息,该词可能属于以下情况之一:
专业术语或新兴技术
可能是某个特定领域(如光学、工业检测、医学成像)中的新型设备或技术,目前尚未被广泛记录或公开讨论。
笔误或翻译问题
建议检查词语准确性。类似术语如:
行业/企业内部术语
某些企业或研究团队可能使用自定义名称指代特定设备,需结合具体应用场景分析。
若您能提供更多上下文(如应用领域、功能描述等),可能有助于进一步解析该词含义。
阿布德豪登氏试验包报文边际生产递减律并存权限常压加热堆磁性判定元件弹状流读经台敷剂腹膜浆层炎高倍目镜跟骨沟共有人活塞排气量久磁材料举债还债克拉来特连续干燥炉硫马唑麦角生物碱霉菌凝集素美制线规末脑曝气燃料油稳定剂石墨涂层实验仪器书写子程序维持板微瓦