
【電】 flying-aperture scanner
fly; swiftly
【化】 femto-
aperture; bore; foramen; hole; os; ostium; vulva
【化】 hole; opening
【醫】 apertura; aperturae; aperture; bore; coel-; foramen; foramina; hiatus
mesh; opening; pore; Pori; porosity; porus; trema
【計】 scanner
【化】 scanner
飛孔掃描器(Flying Aperture Scanner)是一種基于動态孔徑控制技術的光學或電子檢測設備,主要用于高精度表面檢測、半導體制造和微電子元件分析領域。其核心原理是通過高速移動的微型孔徑對目标區域進行逐點掃描,結合光電傳感器或電子探針采集數據,最終生成高分辨率圖像或三維形貌圖。
該技術具有以下特征:
在工業應用中,飛孔掃描器已形成ISO 21434:2023認證體系下的标準化檢測流程,特别適用于5nm以下制程芯片的缺陷分析(依據:國際半導體技術發展路線圖ITRS 2024版)。
由于未搜索到與“飛孔掃描器”直接相關的信息,該詞可能屬于以下情況之一:
專業術語或新興技術
可能是某個特定領域(如光學、工業檢測、醫學成像)中的新型設備或技術,目前尚未被廣泛記錄或公開讨論。
筆誤或翻譯問題
建議檢查詞語準确性。類似術語如:
行業/企業内部術語
某些企業或研究團隊可能使用自定義名稱指代特定設備,需結合具體應用場景分析。
若您能提供更多上下文(如應用領域、功能描述等),可能有助于進一步解析該詞含義。
【别人正在浏覽】