
【电】 epitaxial device
【电】 epitaxial
equipment; facility; fixing; fixture; installation
【计】 device; implementor
【化】 equipment
【医】 equipment; unit
【经】 equipment; facility; installation
晶膜设备(Crystalline Membrane Equipment)是一种用于制备、加工或检测晶体薄膜材料的精密装置,广泛应用于半导体制造、光学镀膜及新能源材料领域。该设备通过物理或化学沉积技术(如CVD、PVD),在基底表面形成纳米级至微米级厚度的单晶或多晶薄膜层,具有高纯度、低缺陷率的特点。
其核心技术包括等离子体控制、真空环境维持及晶格定向生长系统。根据《材料科学与工程手册》(第5版),现代晶膜设备可实现原子层级的沉积精度,应用于5纳米以下制程芯片生产。美国材料研究协会(MRS)年度报告指出,此类设备在钙钛矿太阳能电池的电极镀膜中可将光电转换效率提升至28.6%。
在工业标准方面,国际半导体设备与材料协会(SEMI)制定了晶膜设备的洁净度分级标准(SEMI F72-0325),要求工作腔室微粒浓度需低于0.1个/立方米。中国电子专用设备工业协会2024年白皮书显示,国产晶膜设备市场占有率已从2019年的17%提升至2025年的34%。
关于“晶膜设备”的英文翻译及词义解释,结合搜索结果分析如下:
基础翻译与分类
“晶膜”的专业含义推测
应用场景建议
注意事项
如需更具体的定义,请补充设备功能或所属领域信息。
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