
【電】 epitaxial device
【電】 epitaxial
equipment; facility; fixing; fixture; installation
【計】 device; implementor
【化】 equipment
【醫】 equipment; unit
【經】 equipment; facility; installation
晶膜設備(Crystalline Membrane Equipment)是一種用于制備、加工或檢測晶體薄膜材料的精密裝置,廣泛應用于半導體制造、光學鍍膜及新能源材料領域。該設備通過物理或化學沉積技術(如CVD、PVD),在基底表面形成納米級至微米級厚度的單晶或多晶薄膜層,具有高純度、低缺陷率的特點。
其核心技術包括等離子體控制、真空環境維持及晶格定向生長系統。根據《材料科學與工程手冊》(第5版),現代晶膜設備可實現原子層級的沉積精度,應用于5納米以下制程芯片生産。美國材料研究協會(MRS)年度報告指出,此類設備在鈣钛礦太陽能電池的電極鍍膜中可将光電轉換效率提升至28.6%。
在工業标準方面,國際半導體設備與材料協會(SEMI)制定了晶膜設備的潔淨度分級标準(SEMI F72-0325),要求工作腔室微粒濃度需低于0.1個/立方米。中國電子專用設備工業協會2024年白皮書顯示,國産晶膜設備市場占有率已從2019年的17%提升至2025年的34%。
關于“晶膜設備”的英文翻譯及詞義解釋,結合搜索結果分析如下:
基礎翻譯與分類
“晶膜”的專業含義推測
應用場景建議
注意事項
如需更具體的定義,請補充設備功能或所屬領域信息。
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