
【計】 thin-film deposition
film; membrane; pellicle
【計】 thin membrane; thin-film
【醫】 film
form sediment; settle; shallow lake
accumulate; amass; long-standing; product; store up
【醫】 product
薄膜澱積(Thin Film Deposition)是電子工程與材料科學領域的核心工藝技術,指在基底表面通過物理或化學方法沉積納米至微米級厚度的均勻材料層。該術語由"薄膜"(thin film,厚度<1μm)和"澱積"(deposition,物質從氣相或液相向固相轉移的過程)構成。
根據《半導體制造手冊》(第3版),薄膜澱積技術主要分為三類:
國際半導體産業協會(SEMI)2024年報告指出,該技術在集成電路制造中直接影響器件性能參數,包括導通電阻、介電常數和熱穩定性。在光伏領域,薄膜太陽能電池的轉換效率已突破23%(NREL數據),其核心工藝即依賴精密控制的大面積CVD技術。
薄膜澱積是一種在固體表面或界面形成薄膜的技術,主要應用于半導體、光學、電子等領域。以下是詳細解釋:
薄膜澱積指通過物理或化學方法,将材料以單層或多層形式均勻或非均勻地沉積到基底(如矽片)表面的過程。其核心目标是在基底上形成具有特定功能的薄膜,如導電層(金屬、多晶矽)或絕緣層(二氧化矽、氮化矽)。
“澱積”一詞源于地質學,指物質在液體中沉澱積聚的過程,後借用于描述薄膜形成技術。
如需更深入的分類或工藝流程說明,可參考來源網頁(如的PPT課件)。
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