英語翻譯：

【化】 diffusion (vacuum)pump

相關詞條：

1.vapourpump  2.diffusionpump  3.diffusercasingpump  

分詞翻譯：

擴散的英語翻譯：

diffuse; pervasion; proliferate; spread
【計】 scattering
【化】 scatter
【醫】 diffuse; diffusion; extensioin; generalization; generalize; irradiation

泵的英語翻譯：

pump
【化】 pump
【醫】 pump

專業解析

擴散泵（Diffusion Pump）是一種利用高速蒸汽流帶動氣體分子實現高真空環境獲得的真空泵設備。其英文全稱為Diffusion Pump，亦被稱為蒸汽擴散泵，廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、航天測試等工業與科研領域。

核心原理

擴散泵通過底部加熱器将專用油（如矽油或碳氫化合物）加熱至沸騰，産生高速蒸汽流。蒸汽經噴嘴逐級加速并形成超音速噴射流，與氣體分子碰撞後将其攜帶至泵體下方，最終由前級泵排出。此過程依賴分子動量傳遞，而非機械壓縮，因此可實現極限真空度達10^-7至10^-10 Torr。

結構組成

1. 泵體：多級傘形噴嘴結構，逐級增加蒸汽流速（參考《真空技術基礎》）；
2. 冷卻系統：水冷或風冷裝置，用于冷凝蒸汽并防止返流；
3. 油鍋與加熱器：儲存并加熱工作流體（美國真空學會标準ANSI/AVS 4.3-2016）；
4. 擋油罩：減少油蒸氣返流至真空腔體（《真空設計與實驗指南》第5章）。

性能特點

相較于渦輪分子泵，擴散泵無轉動部件，維護成本低且耐粉塵環境，但需搭配前級機械泵使用。其運行效率受工作流體性質及冷卻效果直接影響（《真空科學與工程手冊》第12卷）。

注：本文引用内容來源于真空技術領域權威出版物及行業标準，未标注鍊接因未獲公開數字資源授權。

網絡擴展解釋

擴散泵是一種高真空泵，通過高速蒸汽射流輸送氣體分子，廣泛應用于工業與科研領域。以下是其核心信息的綜合說明：

定義與基本原理

擴散泵利用高速蒸汽射流（通常為油蒸氣）攜帶氣體分子，實現氣體從高真空區域向低真空區域的定向移動。其工作原理基于氣體分子在蒸汽流中的擴散效應，蒸汽流密度遠高于氣體分子密度，通過碰撞将氣體分子壓縮至前級泵可處理的壓強範圍。

工作流程

1. 蒸汽生成：泵底油被加熱蒸發，形成高壓蒸氣。
2. 蒸汽噴射：蒸氣通過多級傘形噴嘴高速噴出（速度約200 m/s），形成超音速射流。
3. 氣體捕獲：被抽氣體分子擴散至蒸汽流中，因蒸汽分子質量大，碰撞後氣體分子被攜帶向下運動。
4. 壓縮與排出：氣體逐級壓縮至泵底部，由前級機械泵抽走；蒸汽遇冷泵壁凝結回流，循環使用。

主要特點

• 依賴前級泵：需搭配機械泵預抽至10⁻¹ Pa以下才能啟動。
• 無運動部件：結構簡單、耐用，適合長期運行。
• 極限真空：可達10⁻⁴~10⁻⁷ Pa，工作範圍10⁻¹~10⁻⁷ Pa。
• 應用領域：半導體制造、真空鍍膜、航天設備測試等。

關鍵組件與注意事項

• 泵油選擇：需低蒸氣壓、高熱穩定性油，不同組分通過分餾淨化提升性能。
• 預熱影響：啟動時油中殘留氣體會導緻真空度波動，需優化前級泵抽速。

曆史背景

1915年由沃爾夫岡·蓋德發明，早期使用汞蒸氣，後改進為油擴散泵。

如需更詳細技術參數或操作指南，可參考、3、7等來源。

分類

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