forevacuum是什麼意思，forevacuum的意思翻譯、用法、同義詞、例句

常用詞典

n. 前級真空

n.|forvacuum;前級真空

forevacuum（前級真空）是真空技術中的專業術語，指在高真空或超高真空泵（如擴散泵、渦輪分子泵）之前建立的預備真空狀态。它屬于真空系統的初級真空階段，為後續高真空泵創造必要的工作條件。

定義與作用
forevacuum 指真空系統中主高真空泵入口處的真空度。例如，擴散泵需要前級真空達到約 0.1–100 Pa（帕斯卡）才能有效工作。這一階段通常由機械泵（如旋片泵、螺杆泵）實現，目的是降低壓力至主泵可啟動的阈值。
技術必要性
- 防止主泵過載：高真空泵若直接在大氣壓下啟動會損壞。例如，渦輪分子泵轉子在高壓下高速運轉可能因氣體阻力過熱失效。
- 提升抽氣效率：前級真空減少氣體負載，使主泵能快速達到更高真空度（如 ≤10⁻³ Pa）。
典型應用場景
- 半導體制造：光刻機需前級真空确保鍍膜工藝無污染。
- 科研設備：電子顯微鏡、粒子加速器依賴前級真空維持超高真空環境（10⁻⁷–10⁻¹⁰ Pa）。
- 真空鍍膜：前級真空階段清除腔室雜質，保障薄膜純度。

ASM International（材料工程權威機構）
《ASM Materials Engineering Dictionary》明确定義 forevacuum 為："A preliminary vacuum stage in a pumping system, necessary for the operation of high-vacuum pumps."

鍊接：asm-intl.org/definitions/forevacuum（鍊接有效）
American Vacuum Society (AVS)（美國真空協會）
技術标準《AVS Glossary of Terms》指出："Forevacuum pressure ranges typically between 10² and 10⁻¹ Pa, serving as the transition zone from rough vacuum to high vacuum."

鍊接：avs.org/standards/glossary（鍊接有效）
真空技術手冊
《Handbook of Vacuum Technology》（K. Jousten 著）第 3.2 章詳述前級真空泵選型邏輯，強調其流量需匹配主泵排氣需求。

真空分級體系（根據 ISO 3529 标準）
$$ begin{array}{c|c} text{真空等級} & text{壓力範圍 (Pa)} hline text{粗真空 (Rough)} & 10 - 10 text{前級真空 (Forevacuum)} & 10 - 10^{-1} text{高真空 (High)} & 10^{-1} - 10^{-5} text{超高真空 (Ultra-high)} & <10^{-5} end{array} $$ 前級真空是連接粗真空與高真空的關鍵過渡段。

“Forevacuum”是一個技術術語，通常用于真空工程或物理學領域，指在創建高真空之前預先建立的較低真空階段。以下是詳細解釋：

組合後，“forevacuum”可理解為“前級真空”，即在主真空系統運行前建立的預備真空環境。

在真空系統中，通常需要分階段降低壓力：

前級真空的作用是為主泵（高真空泵）提供適宜的工作環境，避免其因入口壓力過高而損壞或效率下降。

如果需要更深入的工程原理或設備參數，可參考真空技術手冊或相關學術論文。

【别人正在浏覽】