[物] 電子衍射
Reflection High Energy Electron Diffraction (RHEED);
反射式高能電子衍射；
Electron diffraction results show that these films are amorphous.
電子衍射結果表明薄膜是非晶态的。
Simulation and detailed analysis of low energy electron diffraction( LEED) data.
低能量電子繞射（EED）果之模拟及詳盡數據分析。
The structural properties of this material has been stu***d by electron diffraction.
并利用電子衍射對其結構特性作了分析。
This paper describes two microcomputer programs of electron diffraction spot patterns.
本文介紹了兩種電子衍射花樣的微型機分析程式。
電子衍射（electron diffraction）是指電子束通過晶體材料時，因與原子周期性排列發生相互作用而産生的相幹散射現象。其本質是電子波在晶體中傳播時，受原子規則排列影響發生幹涉，形成特定衍射圖案的過程。根據波粒二象性原理，高速運動的電子具有德布羅意波長（$lambda = frac{h}{p}$，其中$h$為普朗克常數，$p$為電子動量），當波長與晶體原子間距接近時即産生衍射。
在實驗層面，電子衍射通常通過透射電子顯微鏡（TEM）實現：高能電子束穿透超薄樣品後，其散射波在物鏡後焦面形成衍射斑點，斑點排布對應晶體的倒易點陣結構。例如，多晶樣品産生同心圓環圖案（德拜-謝爾環），單晶樣品則呈現規則點陣排列。通過分析斑點位置與強度，可推導晶胞參數、晶體取向及原子位置信息。
相較于X射線衍射，電子衍射具有更高散射效率（與原子序數的平方成正比）和更短波長（100 keV電子波長約0.037 Å），故對輕元素敏感且可實現納米尺度局部結構分析。該技術已成為材料科學表征晶體缺陷、界面結構及納米顆粒的核心手段，在半導體器件研發、催化劑研究和合金相變分析中發揮關鍵作用。
參考來源：
電子衍射（electron diffraction）是指電子束通過晶體材料時，因與原子周期性排列的晶格相互作用而産生的衍射現象。以下是詳細解釋：
基本概念
電子作為帶負電的粒子，其波動性在高速運動時顯現。當電子束穿過晶體，其波長（約0.01-0.1 nm）與原子間距相當，導緻衍射發生，形成特定的衍射圖案。這種現象與X射線衍射類似，但電子衍射對輕元素更敏感，且分辨率更高。
原理與特征
衍射圖案由晶體的原子排列決定，遵循布拉格定律：
$$
nlambda = 2dsintheta
$$
其中，( lambda )為電子波長，( d )為晶面間距，( theta )為入射角。通過分析衍射斑點或環的分布，可推斷材料的結構信息。
主要方法
應用領域
技術優勢
相比X射線，電子束更易聚焦，適合微區分析，且可結合電子顯微鏡實現形貌與結構的同步觀測。
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