[物] 电子衍射
Reflection High Energy Electron Diffraction (RHEED);
反射式高能电子衍射；
Electron diffraction results show that these films are amorphous.
电子衍射结果表明薄膜是非晶态的。
Simulation and detailed analysis of low energy electron diffraction( LEED) data.
低能量电子绕射（EED）果之模拟及详尽数据分析。
The structural properties of this material has been stu***d by electron diffraction.
并利用电子衍射对其结构特性作了分析。
This paper describes two microcomputer programs of electron diffraction spot patterns.
本文介绍了两种电子衍射花样的微型机分析程序。
电子衍射（electron diffraction）是指电子束通过晶体材料时，因与原子周期性排列发生相互作用而产生的相干散射现象。其本质是电子波在晶体中传播时，受原子规则排列影响发生干涉，形成特定衍射图案的过程。根据波粒二象性原理，高速运动的电子具有德布罗意波长（$lambda = frac{h}{p}$，其中$h$为普朗克常数，$p$为电子动量），当波长与晶体原子间距接近时即产生衍射。
在实验层面，电子衍射通常通过透射电子显微镜（TEM）实现：高能电子束穿透超薄样品后，其散射波在物镜后焦面形成衍射斑点，斑点排布对应晶体的倒易点阵结构。例如，多晶样品产生同心圆环图案（德拜-谢尔环），单晶样品则呈现规则点阵排列。通过分析斑点位置与强度，可推导晶胞参数、晶体取向及原子位置信息。
相较于X射线衍射，电子衍射具有更高散射效率（与原子序数的平方成正比）和更短波长（100 keV电子波长约0.037 Å），故对轻元素敏感且可实现纳米尺度局部结构分析。该技术已成为材料科学表征晶体缺陷、界面结构及纳米颗粒的核心手段，在半导体器件研发、催化剂研究和合金相变分析中发挥关键作用。
参考来源：
电子衍射（electron diffraction）是指电子束通过晶体材料时，因与原子周期性排列的晶格相互作用而产生的衍射现象。以下是详细解释：
基本概念
电子作为带负电的粒子，其波动性在高速运动时显现。当电子束穿过晶体，其波长（约0.01-0.1 nm）与原子间距相当，导致衍射发生，形成特定的衍射图案。这种现象与X射线衍射类似，但电子衍射对轻元素更敏感，且分辨率更高。
原理与特征
衍射图案由晶体的原子排列决定，遵循布拉格定律：
$$
nlambda = 2dsintheta
$$
其中，( lambda )为电子波长，( d )为晶面间距，( theta )为入射角。通过分析衍射斑点或环的分布，可推断材料的结构信息。
主要方法
应用领域
技术优势
相比X射线，电子束更易聚焦，适合微区分析，且可结合电子显微镜实现形貌与结构的同步观测。
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