
【计】 monobrids construction
odd; single
【医】 azygos; mon-; mono-; uni-
flake; parcel; partial; patch; piece; slice
【计】 slice
【医】 disc; disci; discus; disk; flap; piece
【经】 card
microcircuit
【计】 microcircuit
frame; structure; composition; configuration; construction; fabric; mechanism
【计】 frame work
【医】 constitution; formatio; formation; installation; structure; tcxture
单片微电路结构(Monolithic Microcircuit Structure)指在单一、完整的半导体基片(通常是硅晶圆)上,通过平面工艺集成制造出所有有源元件(如晶体管)、无源元件(如电阻、电容)及其互连导线,形成一个不可分割的、具备完整电路功能的微型结构体。以下是其详细解释:
技术定义与核心特征
制造工艺基础 单片微电路结构的实现依赖于平面工艺技术(Planar Process Technology)。该技术包括一系列步骤:氧化生长绝缘层、光刻定义图形、离子注入或扩散进行掺杂形成有源区、化学气相沉积形成导电层和多层互连、蚀刻形成特定结构等。所有步骤都在同一晶圆片上进行,实现高精度、批量化生产。来源:Microelectronic Fabrication 经典教材 (如 Jaeger/Blalock)。
关键优势
应用场景 单片微电路结构是现代几乎所有电子设备的核心,应用于:
“单片微电路结构”是电子工程领域的专业术语,指将全部电子元件(如晶体管、电阻、电容等)及其互连线路集成在单一半导体基片上的微型化电路形式。以下从核心概念和特点两方面进行解释:
一、核心概念
单片(Monolithic)
源自希腊语“mono”(单一)和“lithos”(石头),指所有元件通过平面工艺(如光刻、扩散)在单块半导体晶圆(通常为硅)上制造完成,而非通过分立元件组装。
微电路(Microcircuit)
强调电路尺寸微型化,通过半导体工艺实现纳米级元件集成,例如现代CPU芯片可容纳数百亿个晶体管。
二、结构特点
层级集成
包含基片层(硅衬底)、元件层(晶体管等)、金属互连层(铝/铜导线)、绝缘层(二氧化硅)等多层结构,通过光刻和刻蚀技术堆叠。
优势与挑战
示例应用:智能手机中的SoC(系统级芯片)集成了CPU、GPU、内存控制器等模块,正是单片微电路结构的典型代表。这种结构支撑了摩尔定律下电子设备性能的持续提升,但也面临量子效应等物理极限的挑战。
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