
【机】 superfinishing
super
burnish; finish; furbish; grind; levigate; polish
【计】 polishing
【化】 burnish(ing)
【医】 levigate; polish
machining; process
【化】 processing
【医】 elaborate; elaboration
【经】 extra work; process; processing; transform
超级磨光加工(Super Polishing Processing)是精密制造领域的高端表面处理技术,指通过超精密磨削工艺使工件表面粗糙度达到纳米级(通常Ra≤0.01μm)的加工方法。其英文对应术语包含"ultra-precision polishing"和"superfinishing"两种表述,美国机械工程师协会(ASME)标准B5.54-2005将其定义为"能够实现表面完整性优化的最终加工工序"。
该技术核心在于采用金刚石或立方氮化硼(CBN)磨具,配合计算机数控(CNC)系统,通过亚微米级进给控制实现原子级别的材料去除。其典型应用包括:光学透镜(表面粗糙度Ra 0.4-0.8nm)、半导体晶圆(平整度≤0.1μm)及航空航天轴承(圆度误差≤0.05μm)的制造。
根据中国机械工程学会《机械制造术语词典》第三版,该工艺需要满足ISO 1302:2002规定的表面粗糙度N1等级标准。日本精机学会的研究报告显示,采用离子束辅助抛光可将表面波纹度控制在λ/20(λ=632.8nm)以下。德国弗劳恩霍夫研究所的工艺验证表明,该技术能使工件表面残余应力降低至±50MPa范围内。
超级磨光加工(又称超级光磨或超精加工)是一种精密光整加工方法,主要用于改善工件表面粗糙度。以下是其核心要点:
1. 定义与原理
通过装有细磨粒、低硬度油石的磨头,在5-20MPa压力下对工件表面进行微量切削和抛光。加工时,工件低速旋转(6-30 m/min),油石同时作轴向振动(振幅1-6mm,频率5-50Hz)和纵向进给,通过复杂运动轨迹去除微观不平表面。
2. 核心特点
3. 典型应用
主要用于汽车零件、轴承、精密量具等对表面质量要求高的领域。其英文对应术语为superfinishing。
注:该工艺属于光整加工范畴,与普通磨光的区别在于其精密可控的微量去除特性。类似工艺还包括研磨(需研具+研磨剂)和抛光(仅降低粗糙度)。
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