
【機】 superfinishing
super
burnish; finish; furbish; grind; levigate; polish
【計】 polishing
【化】 burnish(ing)
【醫】 levigate; polish
machining; process
【化】 processing
【醫】 elaborate; elaboration
【經】 extra work; process; processing; transform
超級磨光加工(Super Polishing Processing)是精密制造領域的高端表面處理技術,指通過超精密磨削工藝使工件表面粗糙度達到納米級(通常Ra≤0.01μm)的加工方法。其英文對應術語包含"ultra-precision polishing"和"superfinishing"兩種表述,美國機械工程師協會(ASME)标準B5.54-2005将其定義為"能夠實現表面完整性優化的最終加工工序"。
該技術核心在于采用金剛石或立方氮化硼(CBN)磨具,配合計算機數控(CNC)系統,通過亞微米級進給控制實現原子級别的材料去除。其典型應用包括:光學透鏡(表面粗糙度Ra 0.4-0.8nm)、半導體晶圓(平整度≤0.1μm)及航空航天軸承(圓度誤差≤0.05μm)的制造。
根據中國機械工程學會《機械制造術語詞典》第三版,該工藝需要滿足ISO 1302:2002規定的表面粗糙度N1等級标準。日本精機學會的研究報告顯示,采用離子束輔助抛光可将表面波紋度控制在λ/20(λ=632.8nm)以下。德國弗勞恩霍夫研究所的工藝驗證表明,該技術能使工件表面殘餘應力降低至±50MPa範圍内。
超級磨光加工(又稱超級光磨或超精加工)是一種精密光整加工方法,主要用于改善工件表面粗糙度。以下是其核心要點:
1. 定義與原理
通過裝有細磨粒、低硬度油石的磨頭,在5-20MPa壓力下對工件表面進行微量切削和抛光。加工時,工件低速旋轉(6-30 m/min),油石同時作軸向振動(振幅1-6mm,頻率5-50Hz)和縱向進給,通過複雜運動軌迹去除微觀不平表面。
2. 核心特點
3. 典型應用
主要用于汽車零件、軸承、精密量具等對表面質量要求高的領域。其英文對應術語為superfinishing。
注:該工藝屬于光整加工範疇,與普通磨光的區别在于其精密可控的微量去除特性。類似工藝還包括研磨(需研具+研磨劑)和抛光(僅降低粗糙度)。
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