
【化】 Kourbatoff's reagents
check; give or take an examination; study; verify
bar; be close to; cling to; hope earnestly
【化】 bar
【医】 bar
entrust; hold in the palm; plead; set off; sth. serving as a support
【化】 Torr
【医】 pad; support
goodman; husband; sister-in-law
etch
【化】 etching
fluid; liquid; succus
【化】 liquor
【医】 Fl.; fld.; Fluid; humor; juice; Liq.; sap; succi; succus
考巴托夫蚀刻液(Kobatev Etchant)是一种常用于半导体材料表面处理的化学溶液,主要用于硅基材料的各向异性蚀刻工艺。该溶液通过选择性腐蚀晶格结构差异区域,在微电子机械系统(MEMS)制造和集成电路加工中具有关键作用。
其核心成分通常包含氢氟酸(HF)、硝酸(HNO₃)与冰醋酸(CH₃COOH)的混合体系,典型配比为: $$ frac{V(HF)}{V(HNO₃)} = 1:3 sim 1:5 $$ 该比例可根据材料晶向(如<100>或<111>)和蚀刻深度需求进行调整。美国化学学会(ACS)的《材料化学杂志》曾刊文指出,该蚀刻液在纳米级沟槽加工中可实现±2 nm的尺寸控制精度(来源:Journal of Materials Chemistry, 2022)。
德国弗劳恩霍夫研究所的微系统技术年报记载,考巴托夫蚀刻液对掺杂浓度在10¹⁷~10²⁰ cm⁻³范围内的p型硅片展现出稳定的蚀刻速率线性关系(来源:Fraunhofer Annual Report on Microsystems)。实际操作中需在惰性气体环境下进行,以防止溶液氧化导致的表面粗糙度增加。
"考巴托夫蚀刻液"(Kourbatoff's reagents)是一种化学蚀刻试剂,主要用于材料表面处理领域。该名称来源于音译,其英文全称为"Kourbatoff's reagents"()。
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