
【计】 microsystem
微系统(wēi xìtǒng)是电子工程、材料科学及生物医学工程交叉领域的重要概念,其核心指通过微型化技术将传感器、执行器、信号处理单元等集成于单一芯片或小型基板上的多功能系统。以下从汉英词典角度分层解析:
指在微米至毫米尺度上,通过半导体工艺将机械、电子、光学等元件集成,实现复杂功能的微型化系统。
Microsystem(缩写:MEMS,即Micro-Electro-Mechanical Systems),强调机电一体化集成特性。
例:微系统在智能传感器中的应用 → Application of microsystems in smart sensors。
利用光刻、蚀刻等技术制造微米级机械结构(如微齿轮、微流体通道),实现传统器件的尺寸缩减(参考:IEEE MEMS技术标准。
融合电子电路(信号处理)、机械运动(执行器)、光学(微镜阵列)等功能模块,典型如惯性导航芯片(组合加速度计+陀螺仪)。
集成微处理器实现数据实时分析与反馈,例如医疗微系统通过生物传感器监测血糖并自动调节胰岛素释放(来源:《微系统与纳米工程》期刊。
“微系统是集成了微电子与非电子元件(机械、光学等)的微型装置,能独立完成感知、处理或执行任务。”
英国皇家工程院将其描述为“通过硅基或聚合物基工艺制造的、具有跨尺度交互能力的系统级微型产品”。
(来源:《皇家工程院前沿工程报告》
引用来源:
IEEE MEMS标准框架. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing.
"智能微系统在精准医疗中的进展", Microsystems & Nanoengineering, 2023.
Springer Handbook of Microsystems Engineering, 2nd Edition.
英国皇家工程院. Frontiers in Engineering 2025: Microsystems.
"从MEMS到NEMS的技术演进", Nature Microsystems & Nanoengineering, 2024.
微系统(Microsystem)是一种融合多领域技术的微型集成装置,具有广泛的应用前景和技术革新意义。以下是综合不同领域定义后的详细解释:
微系统是以微纳尺度理论为基础,通过系统级封装集成技术,将传感、通信、处理、执行和微能源等功能单元高度融合的智能装置。其内部结构通常在微米至纳米量级,具有微型化、集成化、多功能等特点(、)。
如需进一步了解具体技术细节或应用案例,可参考(荆州市科技局)和(王巍院士团队研究)的权威分析。
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