n. [等离子] 微等离子体；[等离子] 微等离子区
In this paper, in order to improve reliability and repetitive-use properties of titanium fastening piece, microplasma oxidation method had been advanced on the surface technology.
本课题针对钛合金紧固件摩擦学性能的改善，将微等离子体氧化技术应用在钛合金紧固件表面改性上，以提高其可靠性和重复使用性。
Influences of main parameters such as composition of electrolyte and electrical parameters in preparing black ceramic coating by microplasma oxidation on ADC12 aluminum alloy were stu***d.
研究了ADC12铝合金表面微等离子体氧化法制备黑色陶瓷膜的电解液成分和电参数等对膜层性能的影响。
Brazing quality and product reliability are both increased as using high frequency pulse microplasma arc heating process for assembly brazing of cathode and photoetching grid of electron tube.
采用高频脉冲微束等离子弧做为电子管阴极和光刻栅极装配钎焊工艺的热源，提高了钎缝质量和产品的可靠性。
微等离子体（Microplasma）是一种在微小尺度（通常为微米级）下产生和维持的低温等离子体。它具有独特的物理特性和广泛的应用前景，具体解释如下：
微等离子体本质上是局部电离的气体，其尺寸被限制在微米至毫米量级。与宏观等离子体不同，其放电过程受尺度效应影响显著，例如：
通过微等离子体轰击材料表面，可增强亲水性、粘附性或抗菌性，应用于医疗器械涂层和半导体光刻胶处理 。
用于便携式伤口消毒设备，其产生的活性氧（ROS）能高效杀灭病原体，且对组织损伤小 。
作为集成电路中的微型光源或气体传感器核心组件，例如微型臭氧发生器 。
降解挥发性有机物（VOCs）或处理废水，因其高反应效率适用于紧凑型环保设备 。
微等离子体主要通过以下方式激发：
参考资料来源：
"Microplasma"（微等离子体）是物理学和工程学中的专业术语，具体解释如下：
Microplasma指一种在微观尺度下形成的等离子体状态。等离子体是物质的第四态，由电离气体组成，而微等离子体通常具有更小的空间尺度和更高的能量密度。
与普通等离子体相比，微等离子体因其微观尺度，通常表现出更强的局域化效应和更高的电离效率，适用于精密操作场景。
如需更深入的学术定义或案例，可参考物理或电子工程领域的专业文献。
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