无定形碳；非晶碳
Finally, the applications of the amorphous carbon film are discussed.
最后对对非晶态碳膜的应用前景进行了讨论。
Product nearly did not contain amorphous carbon and carbon-encapsulated iron particles.
产品中几乎不含无定形碳及被碳包覆的铁晶粒。
In this paper, the recent research progress of low-K fluorinated amorphous carbon film is introduced.
着重叙述了具有低介电常数的氟化非晶碳薄膜的研究进展。
Methods for high temperature deposition an amorphous carbon film with improved step coverage are provided.
提供了一种以提高的台阶覆盖率高温沉积非晶碳膜的方法。
The electroconductive member is produced by forming an amorphous carbon film on the surface of a base material.
通过在基材的表面上形成非 晶碳膜可得到导电性部件。
无定形碳（amorphous carbon）是由碳原子以无序排列方式构成的非晶态物质，其原子结构缺乏长程有序性，区别于石墨或金刚石等晶体碳。这种材料在自然界和工业应用中广泛存在，具有独特的物理化学性质。
从结构特征分析，无定形碳由sp²和sp³杂化的碳原子混合组成，形成随机网络结构。根据国际纯粹与应用化学联合会（IUPAC）的定义，其结构特征表现为低于0.3 nm的短程有序和超过2 nm的长程无序性。这种结构特点使其具有各向同性特征，在电子显微镜下观察不到明确的晶格条纹。
在应用领域，无定形碳展现多方面价值：
材料科学权威著作《Carbon Materials: Science and Applications》指出，商业无定形碳产物通常含有微量氢元素（0.1-0.5%），这些杂质原子的存在会显著影响材料的导电性和化学稳定性。最新研究表明，通过等离子体处理可调控其表面官能团分布，进而优化特定应用场景下的性能表现。
根据权威资料和行业应用，"amorphous carbon"（非晶碳/无定形碳）的具体含义可从以下三个角度解析：
一、词源与定义 "amorphous"源于希腊语，意为"无固定形状"，在材料学中特指原子排列无序的非晶态结构。结合"carbon"（碳元素），该词描述的是碳原子未形成长程有序排列的物质状态，既不同于石墨的层状结构，也区别于金刚石的立方晶体结构。
二、结构特征 非晶碳的典型特征包括：
三、工业应用 在半导体制造领域，非晶碳硬掩膜（PECVD Amorphous Carbon）已成为先进工艺核心材料，其优势体现在：
当前首芯半导体等企业已实现12寸晶圆级非晶碳设备的国产化突破，该材料在3D NAND存储器和逻辑芯片制造中的渗透率持续提升。
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