無定形碳；非晶碳
Finally, the applications of the amorphous carbon film are discussed.
最後對對非晶态碳膜的應用前景進行了讨論。
Product nearly did not contain amorphous carbon and carbon-encapsulated iron particles.
産品中幾乎不含無定形碳及被碳包覆的鐵晶粒。
In this paper, the recent research progress of low-K fluorinated amorphous carbon film is introduced.
着重叙述了具有低介電常數的氟化非晶碳薄膜的研究進展。
Methods for high temperature deposition an amorphous carbon film with improved step coverage are provided.
提供了一種以提高的台階覆蓋率高溫沉積非晶碳膜的方法。
The electroconductive member is produced by forming an amorphous carbon film on the surface of a base material.
通過在基材的表面上形成非 晶碳膜可得到導電性部件。
無定形碳（amorphous carbon）是由碳原子以無序排列方式構成的非晶态物質，其原子結構缺乏長程有序性，區别于石墨或金剛石等晶體碳。這種材料在自然界和工業應用中廣泛存在，具有獨特的物理化學性質。
從結構特征分析，無定形碳由sp²和sp³雜化的碳原子混合組成，形成隨機網絡結構。根據國際純粹與應用化學聯合會（IUPAC）的定義，其結構特征表現為低于0.3 nm的短程有序和超過2 nm的長程無序性。這種結構特點使其具有各向同性特征，在電子顯微鏡下觀察不到明确的晶格條紋。
在應用領域，無定形碳展現多方面價值：
材料科學權威著作《Carbon Materials: Science and Applications》指出，商業無定形碳産物通常含有微量氫元素（0.1-0.5%），這些雜質原子的存在會顯著影響材料的導電性和化學穩定性。最新研究表明，通過等離子體處理可調控其表面官能團分布，進而優化特定應用場景下的性能表現。
根據權威資料和行業應用，"amorphous carbon"（非晶碳/無定形碳）的具體含義可從以下三個角度解析：
一、詞源與定義 "amorphous"源于希臘語，意為"無固定形狀"，在材料學中特指原子排列無序的非晶态結構。結合"carbon"（碳元素），該詞描述的是碳原子未形成長程有序排列的物質狀态，既不同于石墨的層狀結構，也區别于金剛石的立方晶體結構。
二、結構特征 非晶碳的典型特征包括：
三、工業應用 在半導體制造領域，非晶碳硬掩膜（PECVD Amorphous Carbon）已成為先進工藝核心材料，其優勢體現在：
當前首芯半導體等企業已實現12寸晶圓級非晶碳設備的國産化突破，該材料在3D NAND存儲器和邏輯芯片制造中的滲透率持續提升。
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