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光刻胶英文解释翻译、光刻胶的近义词、反义词、例句

英语翻译:

【化】 photoresist

分词翻译:

光的英语翻译:

light; ray; honour; merely; naked; scenery; smooth
【化】 light
【医】 light; phot-; photo-

刻的英语翻译:

a quarter; chisel; in the highest degree; moment
【法】 superscription

胶的英语翻译:

glue; gluey; mucus; pastern; sticky
【医】 gloea; glue

专业解析

光刻胶(Photoresist)是半导体制造和微电子加工中的核心材料,其英文术语由"photo-"(光)和"resist"(抗蚀剂)构成,指通过光照产生化学性质变化的感光性聚合物材料。根据《牛津材料科学词典》定义,该物质在曝光后通过显影工艺可形成精密微结构模板。

在技术特性上,光刻胶可分为两大体系:

  1. 正性光刻胶(Positive Photoresist):曝光区域在显影时溶解,未曝光部分保留,适用于高精度图案制作(来源:美国化学学会《材料研究评论》)
  2. 负性光刻胶(Negative Photoresist):曝光区域交联固化,未曝光部分被溶解,具有更好的机械稳定性(参考:国际电气与电子工程师协会《微加工技术标准》)

该材料的性能参数直接影响芯片制程,包括:

全球半导体行业协会(SEMI)数据显示,193nm ArF光刻胶占据当前主流市场份额,而EUV光刻胶正在7nm以下节点加速普及。材料配方通常包含光敏剂、树脂基体和溶剂三大组分,其成分比例属于企业核心机密(来源:《先进电子材料》期刊2024年产业报告)。

网络扩展解释

光刻胶(Photoresist),又称光致抗蚀剂或光阻剂,是一种具有光敏特性的高分子聚合物材料,在微细加工技术中用于图形转移的关键材料。以下从多个维度详细解释其特性与应用:

1.定义与性质

光刻胶通过紫外光、电子束或X射线等照射后,其溶解度会发生变化。液态光刻胶涂覆于基片(如半导体硅片)表面,经曝光和烘烤后固化,形成保护性薄膜,实现掩膜版图形到基片的转移。其核心特性包括光敏性和耐蚀性。


2.成分与分类


3.作用原理

在光刻工艺中,光刻胶通过选择性曝光实现图形转移:

  1. 曝光:光线通过掩膜版照射光刻胶,引发化学反应(交联或分解)。
  2. 显影:溶解未曝光(正胶)或已曝光(负胶)区域,形成图案。
  3. 蚀刻:保护基片特定区域,完成微米/纳米级结构加工。

4.应用领域

光刻胶广泛应用于高精度制造领域:


补充说明

光刻胶的性能直接影响芯片制程精度,例如分辨率、敏感度等参数需与光源波长匹配。当前高端光刻胶技术由少数企业垄断,是半导体产业“卡脖子”材料之一。

如需进一步了解技术细节或产业动态,、及中的权威信息。

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