
【化】 photoresist
light; ray; honour; merely; naked; scenery; smooth
【化】 light
【医】 light; phot-; photo-
a quarter; chisel; in the highest degree; moment
【法】 superscription
glue; gluey; mucus; pastern; sticky
【医】 gloea; glue
光刻胶(Photoresist)是半导体制造和微电子加工中的核心材料,其英文术语由"photo-"(光)和"resist"(抗蚀剂)构成,指通过光照产生化学性质变化的感光性聚合物材料。根据《牛津材料科学词典》定义,该物质在曝光后通过显影工艺可形成精密微结构模板。
在技术特性上,光刻胶可分为两大体系:
该材料的性能参数直接影响芯片制程,包括:
全球半导体行业协会(SEMI)数据显示,193nm ArF光刻胶占据当前主流市场份额,而EUV光刻胶正在7nm以下节点加速普及。材料配方通常包含光敏剂、树脂基体和溶剂三大组分,其成分比例属于企业核心机密(来源:《先进电子材料》期刊2024年产业报告)。
光刻胶(Photoresist),又称光致抗蚀剂或光阻剂,是一种具有光敏特性的高分子聚合物材料,在微细加工技术中用于图形转移的关键材料。以下从多个维度详细解释其特性与应用:
光刻胶通过紫外光、电子束或X射线等照射后,其溶解度会发生变化。液态光刻胶涂覆于基片(如半导体硅片)表面,经曝光和烘烤后固化,形成保护性薄膜,实现掩膜版图形到基片的转移。其核心特性包括光敏性和耐蚀性。
在光刻工艺中,光刻胶通过选择性曝光实现图形转移:
光刻胶广泛应用于高精度制造领域:
光刻胶的性能直接影响芯片制程精度,例如分辨率、敏感度等参数需与光源波长匹配。当前高端光刻胶技术由少数企业垄断,是半导体产业“卡脖子”材料之一。
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