电容耦合高频等离子体焰炬英文解释翻译、电容耦合高频等离子体焰炬的近义词、反义词、例句

英语翻译：

【化】 capacitively coupled high frequency plasma torch

分词翻译：

电容耦合的英语翻译：

【电】 capacitive coupling; capacity coupling

高频的英语翻译：

high frequency
【电】 hf; high frequency

等离子体的英语翻译：

【化】 plasma

焰的英语翻译：

blaze; flame

炬的英语翻译：

fire; torch

专业解析

电容耦合高频等离子体焰炬（Capacitively Coupled Radio Frequency Plasma Torch, CCP-RF Torch）是一种利用高频电场能量，通过电容耦合方式激发并维持气体放电产生高温等离子体的装置。其核心原理和工作机制如下：

一、术语解析（汉英对照）

电容耦合 (Capacitive Coupling)
通过电极间的交变电场实现能量传递，电极作为电容器极板，高频电流通过电极间的气体介质形成位移电流，激发气体电离。区别于电感耦合（如ICP），其能量传递依赖电场而非磁场。
高频 (Radio Frequency, RF)
通常指频率范围在1–100 MHz（如工业常用13.56 MHz）的交流电场。高频电场可避免电荷在电极表面累积，维持稳定的非平衡等离子体。
等离子体焰炬 (Plasma Torch)
指受控气体放电形成的、具有火炬状形态的等离子体射流。其温度可达数千至数万开尔文，适用于高温处理场景。

二、工作原理

装置由高频电源、匹配网络和同轴电极构成：

激发过程：高频电压施加于两电极间，气体（如氩气、氮气）在强电场下电离，形成电子、离子和活性自由基的混合体。
维持机制：电子在交变电场中加速，通过碰撞电离持续补充带电粒子，形成自持放电。
焰炬形态：气体流经放电区被加热膨胀，经喷嘴喷出形成定向等离子体射流。

三、技术特点与应用

无电极污染：电容耦合的电场作用模式减少电极溅射，适合高纯度材料加工（如半导体薄膜沉积）。
可控性强：通过调节功率、气体流量和频率可精确控制等离子体密度与温度。
工业应用：
- 材料表面改性（如增强耐磨性）
- 纳米颗粒合成
- 危险废物高温裂解处理

四、权威参考文献

等离子体基础理论
《Principles of Plasma Discharges and Materials Processing》（M. A. Lieberman, A. J. Lichtenberg）详细分析电容耦合等离子体的物理模型与动力学过程。

来源：Wiley出版社学术专著
工业应用案例
美国能源部报告指出电容耦合等离子体焰炬在固废处理中可实现99%以上的有机污染物分解率。

来源：DOE Technical Report on Plasma Waste Treatment
技术演进综述
《等离子体源科学与技术》期刊论文系统比较CCP与ICP焰炬的能量效率差异（DOI: 10.1088/1361-6595/ab7a8a）。

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网络扩展解释

电容耦合高频等离子体焰炬（Capacitively Coupled High-Frequency Plasma Torch）是一种利用高频电场能量通过电容耦合方式激发并维持的等离子体装置。以下从原理、结构和应用三方面分述：

1. 核心原理

电容耦合：通过电容器将高频电能传递至气体介质。电容的“隔直通交”特性允许高频信号通过，同时阻断直流成分，确保能量高效传输至等离子体区域。
高频激发：工作频率通常在射频范围（如13.56 MHz），高频电场使气体（如氩气）电离，形成高能电子与离子共存的等离子体状态。
等离子体维持：高频电场持续提供能量，使气体分子不断电离，维持稳定的等离子体焰炬。

2. 典型结构

高频电源：产生高频交流电，功率通常为数百瓦至数千瓦。
耦合电容系统：包括电极和介质层，电极间通过电容耦合形成高频电场。
反应腔室：含惰性气体（如Ar），在电场作用下电离形成等离子体焰炬。
冷却系统：防止电极过热，常用水冷或气体冷却。

3. 主要应用领域

材料表面处理：如薄膜沉积、半导体刻蚀。
光谱分析：作为发射源用于ICP-AES（电感耦合等离子体原子发射光谱，但电容耦合可替代部分场景）。
纳米材料合成：通过等离子体高温环境制备纳米颗粒。

补充说明

与电感耦合等离子体（ICP）相比，电容耦合等离子体（CCP）的电场方向垂直于电极表面，能量传递更直接，但等离子体密度通常较低。该技术对电源稳定性要求较高，需精确控制耦合电容与频率匹配。