
【电】 microelectronic device
decline; profound; tiny
【计】 mic-; micro-
【医】 micr-; micro-; mikro-; mu
【计】 ED
微电子设备(Microelectronic Devices)指利用半导体材料及集成电路技术制造的微型化电子元件与系统,其核心特征是通过纳米级工艺实现高密度集成与低功耗运行。根据《牛津英语词典》定义,该术语对应"microelectronic devices",指"electronic components with extremely small dimensions, typically fabricated using semiconductor material processing techniques"(采用半导体加工技术制造的极小尺寸电子元件)。
从技术层面看,微电子设备包含三大构成要素:
在应用领域方面,IEEE标准文件指出其覆盖范围包括:
值得注意的是,该术语常与"集成电路"存在概念交叉。《微电子学导论》(清华大学出版社)强调二者区别在于:微电子设备侧重物理器件层面,而集成电路指多个器件的系统级整合。权威参考资料建议参考《半导体器件物理》(施敏著)第三章关于MOSFET工作原理的论述,以及《朗文当代高级英语辞典》对相关术语的英汉对照解释。
微电子设备是指基于微电子技术制造的微型化电子器件和系统,其核心特征是利用半导体材料和精密工艺在微小尺度(微米或纳米级)上实现电路功能。以下是综合多个来源的详细解释:
微型化特征
采用半导体物理和材料科学技术,在硅基等材料上制造微米/纳米级电子元件(如晶体管、电阻、电容)。
核心器件
光刻技术
利用光学复制原理,在半导体表面形成纳米级电路图案,是芯片制造的核心工艺。例如,极紫外光刻(EUV)可实现7nm以下制程。
先进工艺链
包括蚀刻、离子注入、薄膜沉积等步骤,需在超净环境中完成。现代晶圆厂的生产线精度可达原子级别。
基础应用
支撑计算机、智能手机、医疗设备等电子产品的核心功能。例如,5G通信芯片需要GaN等化合物半导体材料。
创新方向
作为第四次工业革命的基础技术,微电子设备推动着人工智能、量子计算等领域的突破。全球市场规模已超5000亿美元,中国在该领域的研发投入年均增长15%以上。
(注:完整技术细节可参考Nature等期刊论文或半导体行业白皮书。)
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