n. 毫微光刻
Our home made scanning tunneling microscope (STM) is utilized to study the nanolithography of graphite surface.
利用自制的扫描隧道显微镜(STM)，进行了石墨表面的纳米级加工研究。
The core-shell gold nanoparticle film is fabricated by using nanolithography and self-assembly monolayer technology.
采用纳米模板印刷术和自组装单层膜技术制造了芯壳结构的金纳米粒子膜。
The fabrication of nanostructures, an important part of nanotechnology, is based upon nanolithography which will be widely employed in the future.
纳米光刻技术是制作纳米结构的基础，具有重要的应用前景。
The basic principle, application and new progress of nanolithography based on scanning probe microscopy, are described in this review. Then, the tendency of the research is proposed.
本文介绍了扫描探针纳米加工技术的基本原理、应用前景和最新进展，并讨论了该技术的发展趋势。
A general approach for fabricating metallic and semiconducting nanostructures has been developed based on dip pen nanolithography combined with electrochemical reduction of water soluble salts.
本文提出了一种基于“沾笔”纳米刻蚀和电化学还原技术在表面上制备金属及半导体纳米结构的普适性方法。
Nanolithography（纳米光刻技术）是一种在纳米尺度（通常为1-100纳米）下进行图案化加工的关键技术，主要用于半导体芯片制造、纳米器件研发和材料科学领域。其核心原理是通过物理或化学手段，在基底材料表面精确制备微纳结构，以实现电子元件的高密度集成或功能材料的定制化设计。
当前该领域面临衍射极限突破、设备成本控制（如EUV光刻机单价超1.5亿美元）和量产一致性三大核心难题。国际半导体技术路线图（ITRS）指出，未来3D纳米光刻与自组装技术的结合将成为重要发展方向。
（注：因未提供具体搜索结果，示例引用来源编号、、为模拟标注格式，实际内容需依据真实文献补充具体引用来源。）
nanolithography 是纳米技术领域的重要术语，具体含义和背景如下：
基本定义
nanolithography 由前缀nano-（意为“纳米”，即十亿分之一米）和lithography（平版印刷术）组成，指在纳米尺度上进行图案化或微结构加工的技术。它通过物理或化学手段在材料表面制造微小结构，广泛应用于半导体芯片、纳米器件等领域。
技术分类与翻译
与普通光刻的区别
传统lithography（光刻）多用于微米级图案制作，而纳米光刻的精度更高（通常小于100纳米），需借助电子束、极紫外光等更精密手段。
应用领域
该技术对现代电子产业至关重要，例如：
补充说明
其德语拼写为Nanolithographie，含义一致。若需进一步了解具体工艺或设备，可参考半导体制造相关的专业文献。
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