
n. 微传感器;微型敏感元件
Micro phenomena measurement to silicon resonant microsensor are resented in this paper.
主要论述硅谐振微传感器中微现象测量。
A type of capacitive microsensor whose null point and gain can be regulated is introduced here.
文中介绍一种可调零点和增益的电容式微型传感器。
The boundary structural parameters of a silicon resonant pressure microsensor are optimized in this paper.
对一种硅谐振式压力微传感器敏感结构的边界结构参数进行了优化设计。
An electric field microsensor based on electrostatic comb -driven and differential detecting was presented.
研制了一种基于静电梳齿激励、差分检测式微型电场传感器。
The results show that the microsensor has excellent linearity, high sensitivity and relatively good stability.
结果表明:该微传感器具有良好的线性工作范围、良好的稳定性和较高的灵敏度。
微传感器(microsensor)是一种基于微机电系统(MEMS)技术制造的微型化传感器,其核心功能是检测、测量并转换物理量(如压力、温度、加速度)或化学量(如气体浓度)为电信号。其典型尺寸在微米到毫米量级,融合了半导体制造工艺与传感技术。
技术原理与应用领域
微传感器通过硅基材料或聚合物基板上的微型结构(如悬臂梁、薄膜或微腔)实现敏感功能。例如:
技术优势
权威参考文献
microsensor(微传感器)的详细解释如下:
如需具体技术参数或产品信息,可参考专业厂商资料(如、6中的麦克传感器公司)。
deceitfulcripplebobbingBradburycattailcredenzahedgepiglibertinismmediumisticpacedTrotsaccording to statisticshardware systemhoney combin passingintertidal zonejacked pilelife assurancevoice recorderantibuggingbicycliccobaltamminecollectednessdipheadgastrostaxisgimbalgustometerHupeiinhourmethacrolein