
n. 微傳感器;微型敏感元件
Micro phenomena measurement to silicon resonant microsensor are resented in this paper.
主要論述矽諧振微傳感器中微現象測量。
A type of capacitive microsensor whose null point and gain can be regulated is introduced here.
文中介紹一種可調零點和增益的電容式微型傳感器。
The boundary structural parameters of a silicon resonant pressure microsensor are optimized in this paper.
對一種矽諧振式壓力微傳感器敏感結構的邊界結構參數進行了優化設計。
An electric field microsensor based on electrostatic comb -driven and differential detecting was presented.
研制了一種基于靜電梳齒激勵、差分檢測式微型電場傳感器。
The results show that the microsensor has excellent linearity, high sensitivity and relatively good stability.
結果表明:該微傳感器具有良好的線性工作範圍、良好的穩定性和較高的靈敏度。
微傳感器(microsensor)是一種基于微機電系統(MEMS)技術制造的微型化傳感器,其核心功能是檢測、測量并轉換物理量(如壓力、溫度、加速度)或化學量(如氣體濃度)為電信號。其典型尺寸在微米到毫米量級,融合了半導體制造工藝與傳感技術。
技術原理與應用領域
微傳感器通過矽基材料或聚合物基闆上的微型結構(如懸臂梁、薄膜或微腔)實現敏感功能。例如:
技術優勢
權威參考文獻
microsensor(微傳感器)的詳細解釋如下:
如需具體技術參數或産品信息,可參考專業廠商資料(如、6中的麥克傳感器公司)。
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