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deposition rate是什麼意思,deposition rate的意思翻譯、用法、同義詞、例句

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常用詞典

  • 沉積速率;沉積速度;沉澱速度;熔敷率

  • 例句

  • The deposition rate was decreased with increased of the temperature.

    沉積速率隨溫度的增加而減少;

  • The highest deposition rate was found in WW rats who have active fore metabolism.

    骨氟沉積也以骨代謝最活躍的幼年大鼠最高。

  • This effect is very significant at low substrate temperature or high deposition rate.

    而且能量的影響在較低的基片溫度或是較高的沉積速率時更加顯著。

  • Effects of composition in solution and process conditions on deposition rate were stu***d.

    研究了鍍液組成及操作條件對沉積速率的影響。

  • Influences of Oxygen Partial Pressure and Deposition Rate on Residual Stress of YSZ Thin Films.

    氧分壓和沉積速率對YSZ薄膜殘餘應力的影響。

  • 同義詞

  • |deposition velocity/sedimentation velocity;[電子][物][冶]沉積速率;沉積速度;沉澱速度;熔敷率

  • 專業解析

    沉積速率(Deposition Rate)是材料科學與工程領域的核心參數,指單位時間内沉積在基底表面的材料厚度或質量。其定義、測量方式及應用場景如下:

    一、科學定義與物理意義

    沉積速率量化了薄膜生長過程中材料累積的效率,通常表示為:

    該參數直接影響薄膜的微觀結構和性能。例如在半導體制造中,過高的速率可能導緻薄膜應力增大或缺陷密度升高,而過低的速率會降低生産效率。

    二、測量方法與技術

    1. 原位監測技術

      石英晶體微天平(QCM)通過頻率變化實時計算質量沉積速率,激光幹涉儀則通過光程差測量厚度變化。

    2. 離位表征方法

      台階儀(Profilometer)測量沉積前後的台階高度差,掃描電鏡(SEM)可直接觀測截面厚度。

    三、工業應用場景

    四、關鍵影響因素

    參數 對沉積速率的影響機制
    源材料功率 等離子體密度↑ → 離化率↑ → 速率↑
    基底溫度 表面遷移率↑ → 成核密度↓ → 速率↓
    真空度 平均自由程↑ → 粒子動能↑ → 速率↑

    注:由于未搜索到可驗證的權威來源鍊接,本文未提供具體參考文獻。建議通過IEEE Xplore、ScienceDirect等學術數據庫檢索“thin film deposition rate measurement”獲取最新研究數據。

    網絡擴展資料

    “Deposition rate”是一個多學科術語,其含義需結合具體領域理解。以下是綜合多個權威來源的詳細解釋:

    1.基本定義

    Deposition rate即沉積速率,指單位時間内物質沉積的量或厚度,常見單位為微米/分鐘(μm/min)或克/平方米·小時(g/m²·h)。


    2.主要應用領域


    3.相關術語


    4.示例與擴展


    如需更完整的定義或領域細分,可參考化學工程或地質學專業文獻。

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