
沉積速率;沉積速度;沉澱速度;熔敷率
The deposition rate was decreased with increased of the temperature.
沉積速率隨溫度的增加而減少;
The highest deposition rate was found in WW rats who have active fore metabolism.
骨氟沉積也以骨代謝最活躍的幼年大鼠最高。
This effect is very significant at low substrate temperature or high deposition rate.
而且能量的影響在較低的基片溫度或是較高的沉積速率時更加顯著。
Effects of composition in solution and process conditions on deposition rate were stu***d.
研究了鍍液組成及操作條件對沉積速率的影響。
Influences of Oxygen Partial Pressure and Deposition Rate on Residual Stress of YSZ Thin Films.
氧分壓和沉積速率對YSZ薄膜殘餘應力的影響。
|deposition velocity/sedimentation velocity;[電子][物][冶]沉積速率;沉積速度;沉澱速度;熔敷率
沉積速率(Deposition Rate)是材料科學與工程領域的核心參數,指單位時間内沉積在基底表面的材料厚度或質量。其定義、測量方式及應用場景如下:
沉積速率量化了薄膜生長過程中材料累積的效率,通常表示為:
該參數直接影響薄膜的微觀結構和性能。例如在半導體制造中,過高的速率可能導緻薄膜應力增大或缺陷密度升高,而過低的速率會降低生産效率。
石英晶體微天平(QCM)通過頻率變化實時計算質量沉積速率,激光幹涉儀則通過光程差測量厚度變化。
台階儀(Profilometer)測量沉積前後的台階高度差,掃描電鏡(SEM)可直接觀測截面厚度。
參數 | 對沉積速率的影響機制 |
---|---|
源材料功率 | 等離子體密度↑ → 離化率↑ → 速率↑ |
基底溫度 | 表面遷移率↑ → 成核密度↓ → 速率↓ |
真空度 | 平均自由程↑ → 粒子動能↑ → 速率↑ |
注:由于未搜索到可驗證的權威來源鍊接,本文未提供具體參考文獻。建議通過IEEE Xplore、ScienceDirect等學術數據庫檢索“thin film deposition rate measurement”獲取最新研究數據。
“Deposition rate”是一個多學科術語,其含義需結合具體領域理解。以下是綜合多個權威來源的詳細解釋:
Deposition rate即沉積速率,指單位時間内物質沉積的量或厚度,常見單位為微米/分鐘(μm/min)或克/平方米·小時(g/m²·h)。
如需更完整的定義或領域細分,可參考化學工程或地質學專業文獻。
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