
沉积速率;沉积速度;沉淀速度;熔敷率
The deposition rate was decreased with increased of the temperature.
沉积速率随温度的增加而减少;
The highest deposition rate was found in WW rats who have active fore metabolism.
骨氟沉积也以骨代谢最活跃的幼年大鼠最高。
This effect is very significant at low substrate temperature or high deposition rate.
而且能量的影响在较低的基片温度或是较高的沉积速率时更加显著。
Effects of composition in solution and process conditions on deposition rate were stu***d.
研究了镀液组成及操作条件对沉积速率的影响。
Influences of Oxygen Partial Pressure and Deposition Rate on Residual Stress of YSZ Thin Films.
氧分压和沉积速率对YSZ薄膜残余应力的影响。
|deposition velocity/sedimentation velocity;[电子][物][冶]沉积速率;沉积速度;沉淀速度;熔敷率
沉积速率(Deposition Rate)是材料科学与工程领域的核心参数,指单位时间内沉积在基底表面的材料厚度或质量。其定义、测量方式及应用场景如下:
沉积速率量化了薄膜生长过程中材料累积的效率,通常表示为:
该参数直接影响薄膜的微观结构和性能。例如在半导体制造中,过高的速率可能导致薄膜应力增大或缺陷密度升高,而过低的速率会降低生产效率。
石英晶体微天平(QCM)通过频率变化实时计算质量沉积速率,激光干涉仪则通过光程差测量厚度变化。
台阶仪(Profilometer)测量沉积前后的台阶高度差,扫描电镜(SEM)可直接观测截面厚度。
参数 | 对沉积速率的影响机制 |
---|---|
源材料功率 | 等离子体密度↑ → 离化率↑ → 速率↑ |
基底温度 | 表面迁移率↑ → 成核密度↓ → 速率↓ |
真空度 | 平均自由程↑ → 粒子动能↑ → 速率↑ |
注:由于未搜索到可验证的权威来源链接,本文未提供具体参考文献。建议通过IEEE Xplore、ScienceDirect等学术数据库检索“thin film deposition rate measurement”获取最新研究数据。
“Deposition rate”是一个多学科术语,其含义需结合具体领域理解。以下是综合多个权威来源的详细解释:
Deposition rate即沉积速率,指单位时间内物质沉积的量或厚度,常见单位为微米/分钟(μm/min)或克/平方米·小时(g/m²·h)。
如需更完整的定义或领域细分,可参考化学工程或地质学专业文献。
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