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deposition rate是什么意思,deposition rate的意思翻译、用法、同义词、例句

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常用词典

  • 沉积速率;沉积速度;沉淀速度;熔敷率

  • 例句

  • The deposition rate was decreased with increased of the temperature.

    沉积速率随温度的增加而减少;

  • The highest deposition rate was found in WW rats who have active fore metabolism.

    骨氟沉积也以骨代谢最活跃的幼年大鼠最高。

  • This effect is very significant at low substrate temperature or high deposition rate.

    而且能量的影响在较低的基片温度或是较高的沉积速率时更加显著。

  • Effects of composition in solution and process conditions on deposition rate were stu***d.

    研究了镀液组成及操作条件对沉积速率的影响。

  • Influences of Oxygen Partial Pressure and Deposition Rate on Residual Stress of YSZ Thin Films.

    氧分压和沉积速率对YSZ薄膜残余应力的影响。

  • 同义词

  • |deposition velocity/sedimentation velocity;[电子][物][冶]沉积速率;沉积速度;沉淀速度;熔敷率

  • 专业解析

    沉积速率(Deposition Rate)是材料科学与工程领域的核心参数,指单位时间内沉积在基底表面的材料厚度或质量。其定义、测量方式及应用场景如下:

    一、科学定义与物理意义

    沉积速率量化了薄膜生长过程中材料累积的效率,通常表示为:

    该参数直接影响薄膜的微观结构和性能。例如在半导体制造中,过高的速率可能导致薄膜应力增大或缺陷密度升高,而过低的速率会降低生产效率。

    二、测量方法与技术

    1. 原位监测技术

      石英晶体微天平(QCM)通过频率变化实时计算质量沉积速率,激光干涉仪则通过光程差测量厚度变化。

    2. 离位表征方法

      台阶仪(Profilometer)测量沉积前后的台阶高度差,扫描电镜(SEM)可直接观测截面厚度。

    三、工业应用场景

    四、关键影响因素

    参数 对沉积速率的影响机制
    源材料功率 等离子体密度↑ → 离化率↑ → 速率↑
    基底温度 表面迁移率↑ → 成核密度↓ → 速率↓
    真空度 平均自由程↑ → 粒子动能↑ → 速率↑

    注:由于未搜索到可验证的权威来源链接,本文未提供具体参考文献。建议通过IEEE Xplore、ScienceDirect等学术数据库检索“thin film deposition rate measurement”获取最新研究数据。

    网络扩展资料

    “Deposition rate”是一个多学科术语,其含义需结合具体领域理解。以下是综合多个权威来源的详细解释:

    1.基本定义

    Deposition rate即沉积速率,指单位时间内物质沉积的量或厚度,常见单位为微米/分钟(μm/min)或克/平方米·小时(g/m²·h)。


    2.主要应用领域


    3.相关术语


    4.示例与扩展


    如需更完整的定义或领域细分,可参考化学工程或地质学专业文献。

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