
【化】 interference microscope
interfere; intervene; intermeddle; interpose; meddle; interference
interposition
【化】 interference
【医】 interfere; interference
microscope
【化】 microscope
【医】 microscope
干涉显微镜(Interference Microscope)是一种利用光的干涉原理实现高精度表面形貌测量的光学仪器。其英文术语对应为"Interference Microscope",该定义源自中国国家标准化管理委员会发布的GB/T 19888-2023《光学显微仪器术语》。根据《现代光学仪器分析》(科学出版社,2020)的记载,其核心原理是通过分束器将入射光分为参考光束和样品光束,两束光经不同路径反射后产生干涉条纹,通过分析条纹特征可重建样品表面的三维形貌。
在应用层面,该设备具备纳米级垂直分辨率,被广泛应用于集成电路检测、生物细胞膜厚度测量等领域。中国科学院上海光学精密机械研究所的实验数据显示,白光干涉显微镜可实现0.1nm的纵向分辨率。根据国际光学工程学会(SPIE)的仪器分类标准,干涉显微镜主要包含Michelson型、Mirau型和Linnik型三种构型,其中Mirau型因紧凑设计而适用于高倍物镜观测。
在计量学领域,该仪器遵循ISO 25178标准关于表面结构测量的规范要求,其测量结果可作为法定计量认证依据。《精密测量技术》(机械工业出版社,2018)指出,微分干涉显微镜(DIC)通过Nomarski棱镜实现相位梯度增强,特别适用于透明样本的观测。
干涉显微镜是一种基于光波干涉原理的光学仪器,主要用于测量透明或反射样本的微观形貌、厚度、折射率等参数。以下是其核心要点:
通过分束器将光源(如激光或白光)分为两束光:样本光(穿过被测物体)和参考光(直接反射或通过固定路径)。两束光重新汇合时因光程差产生干涉条纹,通过条纹的间距、形状变化可推导出样本表面的高度差或折射率差异。
更多技术细节可参考专业文献或厂商资料(如上海测维光电的6JA型说明)。
备用管口变性抽搐不诚实地步进定时器偿债资产彻夜思考催化气压转化弹簧指动作丁吡胶乳多节指封盖过早收缩黑液回溯技术呼吸操练角甲基进军己酸酐空的单据冷聚丁苯橡胶临界胶团浓度母鞘下的弱抑制型食管闭锁双排调质铸铁铜臭吐根硷丁