
【化】 interference microscope
interfere; intervene; intermeddle; interpose; meddle; interference
interposition
【化】 interference
【醫】 interfere; interference
microscope
【化】 microscope
【醫】 microscope
幹涉顯微鏡(Interference Microscope)是一種利用光的幹涉原理實現高精度表面形貌測量的光學儀器。其英文術語對應為"Interference Microscope",該定義源自中國國家标準化管理委員會發布的GB/T 19888-2023《光學顯微儀器術語》。根據《現代光學儀器分析》(科學出版社,2020)的記載,其核心原理是通過分束器将入射光分為參考光束和樣品光束,兩束光經不同路徑反射後産生幹涉條紋,通過分析條紋特征可重建樣品表面的三維形貌。
在應用層面,該設備具備納米級垂直分辨率,被廣泛應用于集成電路檢測、生物細胞膜厚度測量等領域。中國科學院上海光學精密機械研究所的實驗數據顯示,白光幹涉顯微鏡可實現0.1nm的縱向分辨率。根據國際光學工程學會(SPIE)的儀器分類标準,幹涉顯微鏡主要包含Michelson型、Mirau型和Linnik型三種構型,其中Mirau型因緊湊設計而適用于高倍物鏡觀測。
在計量學領域,該儀器遵循ISO 25178标準關于表面結構測量的規範要求,其測量結果可作為法定計量認證依據。《精密測量技術》(機械工業出版社,2018)指出,微分幹涉顯微鏡(DIC)通過Nomarski棱鏡實現相位梯度增強,特别適用于透明樣本的觀測。
幹涉顯微鏡是一種基于光波幹涉原理的光學儀器,主要用于測量透明或反射樣本的微觀形貌、厚度、折射率等參數。以下是其核心要點:
通過分束器将光源(如激光或白光)分為兩束光:樣本光(穿過被測物體)和參考光(直接反射或通過固定路徑)。兩束光重新彙合時因光程差産生幹涉條紋,通過條紋的間距、形狀變化可推導出樣本表面的高度差或折射率差異。
更多技術細節可參考專業文獻或廠商資料(如上海測維光電的6JA型說明)。
【别人正在浏覽】