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晶体管工艺英文解释翻译、晶体管工艺的近义词、反义词、例句

英语翻译:

【计】 transistor technology

分词翻译:

晶体管的英语翻译:

transistor
【计】 MOS transistor; npn
【化】 transistor

工艺的英语翻译:

craft; technics; technology
【计】 MOS technology
【化】 methodology
【经】 technology

专业解析

晶体管工艺(Transistor Fabrication Technology)是半导体制造领域的核心技术,指通过特定工艺流程在硅基材料上制备晶体管器件的方法体系。其核心目标是通过光刻、掺杂、沉积等步骤,在纳米尺度构建具有放大和开关功能的半导体结构。

从技术实现角度,该工艺包含以下关键环节:

  1. 晶圆制备:采用直拉法(Czochralski Method)生长单晶硅锭,切割成标准厚度晶圆(来源:《半导体材料科学基础》)
  2. 光刻制程:使用极紫外光刻(EUV)技术实现10nm以下线宽图案转移(来源:IEEE电子器件期刊)
  3. 离子注入:通过精准控制硼/磷掺杂浓度形成PN结(来源:《微电子制造技术手册》)
  4. 互连结构:采用铜互连和low-κ介质降低RC延迟(来源:应用物理快报)

现代FinFET工艺通过三维鳍式结构增强栅极控制能力,相较平面晶体管可降低漏电流达90%(来源:国际固态电路会议ISSCC技术白皮书)。当前3nm节点已采用环栅(GAA)结构提升器件密度,晶体管密度可达3.3亿个/mm²(来源:VLSI国际研讨会技术报告)。

网络扩展解释

晶体管工艺是指将半导体材料(如硅)加工成晶体管的全套制造流程,涉及材料处理、结构成型及功能实现。以下是其核心步骤与技术要点:

一、核心工艺流程

  1. 晶圆制备
    以高纯度硅为原料,通过晶体生长形成圆柱形硅锭,经切割、抛光制成厚度约0.5mm的晶圆片,作为晶体管制造的基础基板。

  2. 光刻与蚀刻

    • 光刻:使用掩膜版(含电路图案)和光刻机,通过紫外线曝光将图形转移到晶圆表面的光刻胶层。
    • 蚀刻:用氢氟酸等化学试剂去除未被光刻胶保护的区域,形成三维结构(如沟槽或电极)。
  3. 掺杂与扩散
    通过离子注入或高温扩散工艺,向特定区域掺入硼、磷等杂质,形成P型或N型半导体结构,构建晶体管的核心PN结。

  4. 金属化与互连
    在晶圆表面沉积金属层(如铜或铝),并通过刻蚀形成导线,实现晶体管与其他元件的电路连接。

  5. 退火与封装
    高温退火修复晶格损伤,最后切割晶圆成独立芯片并进行封装保护。

二、工艺进步的关键意义

三、应用领域

晶体管工艺是集成电路制造的核心技术,支撑计算机处理器、通信芯片、传感器等现代电子设备的微型化与高性能化。

如需更完整信息,可参考道客巴巴及半导体制造相关专业文献。

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