月沙工具箱
☰
现在位置：月沙工具箱 > 学习工具 > 英语单词大全

planarize是什么意思，planarize的意思翻译、用法、同义词、例句

输入单词

常用词典

  • v. 摊平（空间曲线平面化）；使……平整，使……平滑

    • 例句

  • Portions of the oxide layer are removed to substantially planarize the trench-filled oxide layer as the first polysilicon layer.

    所述氧化层的部分被移除，以使所述沟槽填充的氧化层作为第一多晶硅层基本平面化。

  • Through a CMP process, portions of the oxide layer are removed to substantially planarize the trench-filled oxide layer as the first polysilicon layer.

    利用一化学机械研磨制程，移除该氧化 物层的部分区域，以使该填满沟槽的氧化物层与该第一多晶硅层 大体上齐平。

    • 专业解析

    Planarize（平面化）是一个工程术语，尤其在半导体制造和微电子领域至关重要。它指的是通过特定的工艺技术，使原本不平坦或不规则的表面变得平坦、光滑的过程。其核心目标是消除材料表面的高低起伏、台阶或凹陷，获得一个高度均匀的平面。

    1. 在半导体制造中的核心应用：化学机械抛光 (CMP)： 这是实现晶圆表面Planarize最主流和最关键的工艺。在芯片制造的多层互连结构中，每沉积一层新的材料（如金属钨用于通孔填充、铜用于布线、或绝缘介质）后，表面都会变得不平整。CMP 工艺结合化学腐蚀和机械研磨的作用，选择性地去除高处的材料，最终使整个晶圆表面达到全局平坦化（Global Planarization）。这对于后续光刻工艺（要求极平坦的表面才能精确成像微小图形）和构建多层结构至关重要。没有有效的Planarize，现代高密度、多层互连的集成电路制造将无法实现。 (Lam Research Corporation - "Chemical Mechanical Planarization (CMP) Overview")

    2. 在微电子封装与MEMS中的意义： 在芯片封装领域，Planarize技术同样重要。例如，在晶圆级封装(WLP)或扇出型封装中，需要对再布线层(RDL)、模塑料或光刻胶等材料进行平坦化处理，以确保后续工艺步骤（如光刻、镀铜、植球）的精度和可靠性。在微机电系统(MEMS)制造中，器件结构通常涉及多层薄膜沉积和刻蚀，表面平坦化对于保证器件的性能、可靠性和成品率也非常关键。 (IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology - "Planarization Processes for Advanced Packaging")

    3. 技术目标与重要性：

      • 提升光刻精度：平坦的表面是进行高分辨率光刻（特别是浸没式光刻和极紫外光刻）的先决条件，不平的表面会导致聚焦不匀和图形失真。
      • 保证薄膜沉积均匀性：后续沉积的薄膜（如金属、介质）在平坦的基底上才能获得均匀的厚度和良好的附着力。
      • 实现多层互连：现代芯片包含数十层金属互连，每一层都需要平坦化才能可靠地构建下一层。Planarize是摩尔定律得以延续的关键使能技术之一。
      • 改善器件性能和可靠性：平坦的表面可以减少电迁移、短路、断路等失效风险，提高芯片的整体良率和寿命。

    Planarize（平面化）是微电子制造中不可或缺的关键工艺步骤，特指通过各种技术手段（尤其是CMP）将非平面表面处理成高度平坦的过程。它解决了多层结构制造中由表面起伏带来的技术难题，是确保先进半导体器件高性能、高密度、高可靠性的基础。

    网络扩展资料

    "Planarize"（动词）指通过特定技术或工艺使物体表面变得平坦或平面化的过程，常见于以下专业领域：

    1. 半导体制造
      通过化学机械抛光（CMP）等技术消除晶圆表面的凹凸不平，确保后续电路层的精准堆叠（如芯片制造中多层金属互连的平整处理）。

    2. 3D建模与图形学
      将三维结构投影或简化成二维平面，用于地图绘制或计算机图形渲染。

    3. 材料科学
      在涂层或薄膜工艺中，通过沉积后处理（如退火）减少材料表面的粗糙度。

    该词由"planar"（平面）加动词后缀"-ize"构成，字面意为“使平面化”。由于缺乏具体上下文，建议结合领域术语进一步确认其精确含义。

    别人正在浏览的英文单词...

    fandifferedhorseshoesiclepersecutoryRiveraTrumanvetoeda clear consciencecerebral aneurysmcognitive dissonancefixed asset investmentmonolithic processoroff shorequantum dotsediment concentrationvapor depositionaffirmancearteriectopiaassurgentautoplatebursitisEquisetalesforeleggeocentrichemopoietinkikekunemaloladderwayMicrogyniidaemistiness