[仪] 电子探针
The micro area analysis was accomplished by the help of electron probe.
配合电子探针做微区分析。
Quality identification; Flos Lonicerae; Element content; Electron probe.
品质鉴定； 金银花； 元素含量； 电子探针。
With the analysis of SEM and electron probe, the destroying mechanism is put forward.
通过SEM和电子探针分析，提出了钙熔盐电解过程石墨阳极的破损机理。
X ray images of electron probe were acquired by a micro computer, and observed in colors.
应用微型计算机直接采集电子探针X射线像，并用伪彩色显示技术进行观察。
The problem of wavelength resolution of X-ray spectrometer of the electron probe is discussed.
讨论了电子探针中X光分光谱仪的波长分辨力。
|electron microprobe;[仪]电子探针
电子探针（electron probe）是一种基于电子束与物质相互作用的分析仪器，主要用于材料表面微区成分的定性与定量检测。其核心原理是通过聚焦的高能电子束轰击样品表面，激发出特征X射线，再通过能谱仪或波谱仪分析元素种类及含量。该技术由法国科学家Raimond Castaing于20世纪50年代首次提出，现已成为材料科学、地质学等领域的重要研究工具。
在技术实现层面，电子探针包含三个主要系统：①电子光学系统（产生0.1-1μm的聚焦电子束）；②X射线检测系统（配备波长色散谱仪）；③高真空系统（维持10⁻³-10⁻⁴ Pa的工作环境）。其空间分辨率可达纳米级别，检测限约为0.01-0.1 wt%[参考：美国国家标准与技术研究院《微束分析技术指南》]。
实际应用中，电子探针广泛应用于：
根据《自然》期刊材料子刊2023年统计，全球顶级材料实验室中91%配置了电子探针设备[参考：Nature Materials, 2023年度设备使用调查报告]。
电子探针（electron probe）是一种利用聚焦电子束对材料进行微区成分分析的仪器或技术。以下是详细解释：
基本定义
电子探针通过电子枪发射高能电子束，经电磁透镜聚焦成纳米级直径的细束。该电子束轰击样品表面时，会激发出特征X射线，通过分析这些X射线可确定样品微区的元素组成。
核心功能
相关设备与技术
电子探针显微分析仪（EPMA）是典型设备，结合了电子光学系统、X射线谱仪和显微成像功能。常与扫描电子显微镜（SEM）联用，实现形貌观察与成分分析同步。
与其他技术的区别
相较于透射电镜（TEM），电子探针更侧重成分分析而非晶体结构研究；与能谱仪（EDS）相比，其波长色散谱仪（WDS）具有更高检测精度。
注：部分专业细节可参考《材料分析测试技术》等教材，或通过EPMA设备厂商的技术手册获取更完整信息。
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