[儀] 電子探針
The micro area analysis was accomplished by the help of electron probe.
配合電子探針做微區分析。
Quality identification; Flos Lonicerae; Element content; Electron probe.
品質鑒定； 金銀花； 元素含量； 電子探針。
With the analysis of SEM and electron probe, the destroying mechanism is put forward.
通過SEM和電子探針分析，提出了鈣熔鹽電解過程石墨陽極的破損機理。
X ray images of electron probe were acquired by a micro computer, and observed in colors.
應用微型計算機直接采集電子探針X射線像，并用僞彩色顯示技術進行觀察。
The problem of wavelength resolution of X-ray spectrometer of the electron probe is discussed.
讨論了電子探針中X光分光譜儀的波長分辨力。
|electron microprobe;[儀]電子探針
電子探針（electron probe）是一種基于電子束與物質相互作用的分析儀器，主要用于材料表面微區成分的定性與定量檢測。其核心原理是通過聚焦的高能電子束轟擊樣品表面，激發出特征X射線，再通過能譜儀或波譜儀分析元素種類及含量。該技術由法國科學家Raimond Castaing于20世紀50年代首次提出，現已成為材料科學、地質學等領域的重要研究工具。
在技術實現層面，電子探針包含三個主要系統：①電子光學系統（産生0.1-1μm的聚焦電子束）；②X射線檢測系統（配備波長色散譜儀）；③高真空系統（維持10⁻³-10⁻⁴ Pa的工作環境）。其空間分辨率可達納米級别，檢測限約為0.01-0.1 wt%[參考：美國國家标準與技術研究院《微束分析技術指南》]。
實際應用中，電子探針廣泛應用于：
根據《自然》期刊材料子刊2023年統計，全球頂級材料實驗室中91%配置了電子探針設備[參考：Nature Materials, 2023年度設備使用調查報告]。
電子探針（electron probe）是一種利用聚焦電子束對材料進行微區成分分析的儀器或技術。以下是詳細解釋：
基本定義
電子探針通過電子槍發射高能電子束，經電磁透鏡聚焦成納米級直徑的細束。該電子束轟擊樣品表面時，會激發出特征X射線，通過分析這些X射線可确定樣品微區的元素組成。
核心功能
相關設備與技術
電子探針顯微分析儀（EPMA）是典型設備，結合了電子光學系統、X射線譜儀和顯微成像功能。常與掃描電子顯微鏡（SEM）聯用，實現形貌觀察與成分分析同步。
與其他技術的區别
相較于透射電鏡（TEM），電子探針更側重成分分析而非晶體結構研究；與能譜儀（EDS）相比，其波長色散譜儀（WDS）具有更高檢測精度。
注：部分專業細節可參考《材料分析測試技術》等教材，或通過EPMA設備廠商的技術手冊獲取更完整信息。
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