
英:/'lɪˈθɒɡrəfi/ 美:/'lɪˈθɑːɡrəfi/
n. [印刷] 平版印刷术,石印术
Lithography is a method of plate-****** printing.
平版印刷术是制版印刷方法的一种。
Lithography is the most widely used printing process in the world.
平版印刷是目前世界上应用最广泛的印刷工艺。
Electron beam lithography is an extended application of lithography.
电子束曝光是光刻法的延伸应用。
The arts include calligraphy and lithography.
平面造型艺术包括书法和平版印刷术。
Nikon is also reversing its losses in lithography.
另外,尼康光刻机业务也开始扭亏为盈。
The graphic arts include calligraphy and lithography.
平面造型艺术包括书法和平版印刷术。
All these make a great improvement to quantum lithography.
因而是对量子光刻术的一个很大改进。
The sensor is fabricated by traditional lithography and etching.
制作采用的是传统的光刻、刻蚀工艺。
electron beam lithography
电子束曝光;电子束蚀刻
optical lithography
光学平板刻法,光学制版
Lithography(光刻)是一种关键的图案转移技术,主要用于在平面基材(如硅晶圆、金属板或纸张)上精确复制微细图案。其核心原理是利用特定区域对化学物质或物理作用的敏感性差异来实现选择性加工。根据应用领域不同,其含义和技术细节有所区别:
微电子制造中的光刻(Photolithography)
这是现代半导体芯片制造的核心工艺。它通过光学系统将掩模版(包含电路设计图案)上的图形投影到涂覆了光敏材料(光刻胶)的硅片上。经过曝光和显影,光刻胶上形成三维浮雕图案,作为后续刻蚀或离子注入的屏障。该技术持续突破分辨率极限,支撑了集成电路的持续微型化。其关键步骤包括涂胶、前烘、曝光、后烘、显影和检查。
来源:国际半导体产业协会(SEMI)技术文献(https://www.semi.org/)
平版印刷术(Planographic Printing)
作为印刷术的一种,Lithography 基于油水不相容的原理。艺术家或印刷工人在平整的石板(或金属板)上用油性介质绘制图案,然后用水润湿版面。油性图案区域拒水亲油墨,而湿润的非图案区域拒油墨。上墨后,图案即可转印到纸张上。这种技术曾广泛用于艺术品复制和商业印刷。
来源:大英百科全书 "Lithography" 条目(https://www.britannica.com/technology/lithography)
技术演进与扩展
随着技术发展,出现了多种先进光刻技术以满足更高精度需求:
总而言之,Lithography 的本质是一种基于图形化模板进行表面选择性处理的图案转移技术。在微电子领域,它特指通过光学曝光和光刻胶处理实现纳米级电路图形制造的关键制程;在传统印刷领域,它指利用油水相斥原理在平面上进行印刷的方法。其核心价值在于能够实现高精度、高效率的图形复制与微纳结构制造。
Lithography(平版印刷术)是一种印刷技术,其核心原理是利用油水相斥的特性,在平坦的表面上进行图文复制。以下是详细解释:
Lithography不仅是传统印刷术的基石,也是半导体制造的核心工艺。其核心逻辑始终围绕“选择性吸附”原理,适应从艺术创作到高科技产业的多样化需求。
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