
蚀刻机;腐蚀制版机
Laser etching machine is a high-tech business card printing and membership card.
激光光刻机是一种矮科技的 制卡和 会员卡制作摆设。
SCD developed the first vacuum etching machine in China, with vacuum flood bar in the etching chamber; no pool effect; etching factor is up to 4.0.
SCD开发了中国国内第一台真空蚀刻机,蚀刻室内加装真空水刀,从根本上解决了水池效应,蚀刻因子提高到4。0以上。
Etching machine in normal operation, the first I put a feeding trial with engraved stainless steel plate, it will slow conveyor belt into the machine.
蚀刻机运转正常后,先在入料口放一块试刻用的不锈钢板,传送带会把它缓慢的送入机器内部。
How good sign production process, test swing carved this etching machine precision variable speed conveyor belt can, scouring the length of time can be adjusted here.
酒店标牌制作的工艺如何好,试刻这台精密摇摆蚀刻机传送带可以无级调速,冲刷时间的长短可以在这里进行调整。
The optical system, mechanical system, electrical system and software system are stu***d in the mold laser etching machine, and the mold laser etching machine is developed with the practical value.
对模具激光蚀刻机的光学系统、机械系统、电气系统及软件系统进行了研究,研发出具有实用价值的模具激光蚀刻机。
蚀刻机(Etching Machine) 是一种通过化学或物理方法在材料表面进行选择性去除,从而形成精密图案或结构的工业设备。它广泛应用于半导体制造、印刷电路板(PCB)生产、微机电系统(MEMS)等领域,是现代微电子工业的核心装备之一。
蚀刻机通过以下两种主要方式实现材料去除:
湿法蚀刻(Wet Etching)
利用化学溶液(如酸、碱)与材料发生反应,溶解暴露区域。例如,在硅晶圆上,氢氟酸(HF)可蚀刻二氧化硅层,而磷酸用于蚀刻氮化硅。该方法成本低但精度有限,易产生侧向钻蚀(undercut)。
干法蚀刻(Dry Etching)
通过等离子体(如反应离子蚀刻,RIE)或气相化学物质(如气相蚀刻)实现高精度图案转移。等离子体中的活性离子轰击材料表面,实现各向异性蚀刻(垂直方向精度高),适用于纳米级集成电路制造。
半导体制造
在芯片生产中,蚀刻机用于将光刻胶上的电路图案转移到硅片、金属或介质层上。例如,台积电(TSMC)的5nm制程需使用极紫外光刻(EUV)配合高精度等离子蚀刻机。
印刷电路板(PCB)加工
蚀刻铜箔形成导电线路,常用氯化铁(FeCl₃)或酸性氯化铜(CuCl₂)溶液去除多余铜层,保留设计电路。
微机电系统(MEMS)
通过深反应离子蚀刻(DRIE)技术制造微传感器、执行器等三维结构,例如陀螺仪和加速度计。
类型 | 技术特点 | 典型设备厂商 |
---|---|---|
等离子蚀刻机 | 高精度、各向异性,适用于纳米级制程 | 应用材料(Applied Materials)、泛林集团(Lam Research) |
湿法蚀刻槽 | 批量处理、成本低,适合PCB量产 | 德国Atotech、日本荏原(Ebara) |
激光蚀刻机 | 非接触式,用于陶瓷、玻璃等硬质材料 | 通快(TRUMPF)、相干(Coherent) |
半导体蚀刻技术原理
应用材料公司(Applied Materials)官网对等离子蚀刻机的技术说明:Applied Materials - Etch Systems
注:全球最大半导体设备商的技术文档,具行业权威性。
PCB蚀刻工艺指南
美国IPC协会(电子行业标准制定机构)发布的IPC-2221B设计规范:IPC Standards for PCB Manufacturing
注:IPC标准被全球电子制造业广泛采用。
MEMS蚀刻技术研究
加州大学伯克利分校微纳制造实验室发布的DRIE技术白皮书:UC Berkeley MEMS Fabrication Guide
注:学术机构的一手研究资料,体现技术前沿性。
"etching machine" 的解释可分为技术应用和艺术领域两个维度:
一、基础定义 "etching machine" 指通过化学或物理手段在材料表面进行精密蚀刻的设备。其核心功能是通过移除材料表层形成图案或结构,常见于工业制造和艺术创作。
二、工业技术领域(半导体方向) 主要分为两类():
湿刻蚀机
干刻蚀机
三、艺术创作领域 在版画制作中,特指通过酸液腐蚀金属板进行艺术创作的设备。艺术家使用针笔在涂有防腐层的金属板上刻画图案,再通过酸蚀形成凹版用于印刷。
四、词源解析 单词"etching"源于荷兰语"etsen",原意为"咬食",形象描述酸液腐蚀金属的过程。发音为英式[ˈetʃɪŋ]、美式[ˈɛtʃɪŋ]。
扩展说明:在柔性基材(如PI薄膜)加工中,化学蚀刻机还可实现交叉影线等特殊纹理制作。如需了解具体设备型号或更专业的工艺参数,建议查阅半导体制造技术手册。
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